Op de productielijn vormt een vochtige cassette niet alleen een beperking voor de productie – het is ook een bron van contaminatie. Overblijvend vocht leidt tot gebreken op het oppervlak, en één enkele defecte cassette kan de totale productiebedrijvigheid ondermijnen. Conventionele droogmethoden zorgen voor temperatuurverschillen die water vasthouden in de randen en hoeken van de cassette. Er is dus behoefte aan een droger die de hele cassette droogt, en niet alleen het midden ervan.
Infraroodverwarming: gelijkmatige warmteoverdracht op sub-millimeterniveau
Wij hebben deze infrarooddroger ontworpen met behulp van gecontroleerde NIR-uitstraling en een thermisch veld dat tot op het sub-millimeterniveau gelijkmatig is. Hierdoor wordt er een consistente temperatuur gecreëerd over de hele cassette. Zelfs wanneer de configuratie van de cassette verandert, blijft de temperatuur gelijkmatig. De stappen die nodig zijn voor het verwerken van fotoresistenten – zowel zachte als harde behandelingen – hangen af van de stabiliteit van de temperatuur. Dit systeem levert dit resultaat elke keer weer op. Het is compatibel met cleanrooms van klasse 1–100, produceert geen deeltjes tijdens het gebruik, en de verwarmingsprofielen zijn volledig reproduceerbaar, zodat er goed controle mogelijk is over het proces.
Waarom dit belangrijk is bij de productie van wafern
Bij lithografie en het verwerken van fotoresistenten is een constante temperatuur cruciaal voor de productiekwaliteit. Deze droger haalt het vocht snel uit de gereinigde cassettes, zonder dat er thermische schokken optreden. Er blijven ook geen druppels achter die ongelijkmatig kunnen verdampen. Hierdoor kan de productie sneller verlopen, wordt er minder herwerking nodig en wordt er minder afval geproduceerd. De energieverbruik neemt af, omdat infraroodstraling rechtstreeks het doel bereikt, en niet de lucht eromheen. Bovendien is deze droger ontworpen voor 24/7 gebruik, met voorspelbare onderhoudsintervallen en geen onverwachte stilstanden.
Installatie en gebruiksinstructies
De droger kan worden geplaatst in bestaande reinigingstationen. Echter, er is een apart elektriciteitsnetwerk nodig, evenals een goed ontworpen afvoersysteem om de drukverschillen in de cleanroom op peil te houden. Controleer eerst of het materiaal van de cassette geschikt is voor dit apparaat – sommige polymeren nemen infraroodstraling anders op. Vervolgens kunt u de instellingen vaststellen door een kort testproces uit te voeren. Eenmaal gekalibreerd, werkt de droger met de gewenste repetitibiliteit.