In de lithografische productie worden 300 mm grote wafer niet zomaar opzij gelegd terwijl ze wachten tot de verwarmingseenheid klaar is. Zowel ‘soft bake’ als ‘hard bake’ spelen een belangrijke rol bij het bepalen van de benodigde temperatuur. Als de temperatuur niet constant is, wordt het moeilijk om de gewenste dikte van de laag op de wafer te behouden. We hebben daarom een infraroodverwarmingsbuis ontworpen die deze variabiliteit wegneemt.
Wat technisch gezien belangrijk is: De buis bevat korte-golfinfraroodemitters die zich bevinden binnen een kwartsomhulsel. Hierdoor wordt er snel en efficiënt verwarmd, met een reactietijd van minder dan een seconde. In de vervuilingsvrije omgeving blijft de temperatuur binnen ±0,1°C constant, zodat elke wafer dezelfde thermische behandeling krijgt. De prestaties van de buis blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een intensiteitsafname van minder dan 5%. De buis is geschikt voor gebruik in omgevingen van klasse 1–100. Tijdens het gebruik wordt er geen stof uitgestoten.
Waarom deze buis ideaal is voor productie: Deze buis is speciaal ontworpen voor dit proces, en niet alleen om een bepaalde temperatuur te bereiken. Tijdens het verhitten van de fotoresist zorgt de buis ervoor dat de gewenste temperatuur precies wordt bereikt. Hierdoor wordt er minder afval geproduceerd en kan er beter worden gewerkt. Bovendien neemt het energieverbruik af, omdat het systeem alleen dan verwarmt wanneer dat nodig is.
Een paar praktische tips: Het monteren en aligneren van de buis vereist precisie. De buis moet worden geïnstalleerd binnen de door het apparaat vereiste ruimtes – anders kan het gebeuren dat er hotspots ontstaan en de temperatuur niet constant blijft. Na elke inschakeling van de buis duurt het even voordat deze volledig functioneert. Plan de vervanging van de buis samen met de preventieve onderhoudswerkzaamheden, zodat de beschikbaarheid van het apparaat behouden blijft. Vóór het in gebruik nemen van de buis, moet u ervoor zorgen dat de spanning en de aansluitingen overeenkomen met de specificaties van uw apparatuur.