Mengurangkan penggunaan karbon di fasiliti pengeluaran semikonduktor, tanpa merosakkan kualiti hasil pengeluaran
Sejujurnya, untuk mencapai sasaran neutral karbon di fasiliti pengeluaran semikonduktor bukanlah perkara yang mudah. Sebahagian besar tenaga yang terbuang berlaku semasa proses pemanasan dan penyembuhan wafer. Ini merupakan cara yang tidak efisien. Itulah sebabnya kami menggunakan kaedah pemanasan inframerah yang lebih tepat. Kami telah menemukan cara untuk mengurangkan penggunaan tenaga serta memendekkan masa yang diperlukan untuk proses tersebut, dengan cara yang lebih efektif.
Memastikan haba disalurkan ke tempat yang tepat
Jika suhu pada permukaan wafer tidak seragam, itu merupakan masalah. Anda tidak boleh hanya meningkatkan suhu secara rawak, kerana ini akan merosakkan bahagian tepi wafer tersebut. Kami menggunakan pengeluarkan haba jenis inframerah gelombang pendek, kerana ia berfungsi dengan sangat cepat. Daripada memanaskan seluruh bilik seperti ketuhar biasa, haba akan disalurkan terus ke permukaan wafer. Dengan cara ini, tenaga tidak dibazirkan pada udara di sekeliling wafer, sebaliknya fokus diberikan kepada wafer itu sendiri. Ini merupakan cara yang lebih efektif untuk memanaskan wafer.
Berhenti membuat tekaan, mulailah menggunakan sensor
Lampu pemanas sebenarnya tidak berguna jika kita tidak tahu apa yang sedang dilakukannya. Itulah sebabnya kami memasukkan sensor inframerah berkelajuan tinggi ke dalam sistem tersebut. Sensor ini akan memantau wafer secara masa nyata, dan memberitahu lampu bila perlu menurunkan suhu setelah suhu sasaran dicapai. Dengan cara ini, kita tidak perlu membazir tenaga kerana sistem lambat bertindak balas.
Kebenaran tentang peningkatan “hijau”
Sebenarnya, menjadi lebih mesra alam bukanlah sesuatu yang mudah. Lampu pemanas berintensiti tinggi menghasilkan banyak haba. Anda tidak boleh sekadar mengganti pemanas lama dengan yang baru dan menganggap tugas selesai. Anda perlu memastikan sistem penyejukan mampu menangani beban haba yang tinggi tersebut. Jika tidak, sensor akan mula gagal berfungsi dengan baik. Ini merupakan kompromi yang perlu dipertimbangkan. Kami berusaha untuk menjadikan pengganti ini sesuai digunakan tanpa perlu membuat perubahan besar pada sistem sedia ada. Dengan cara ini, penggunaan tenaga dapat dikurangkan, tanpa merosakkan kualiti hasil pengeluaran.