Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Ketika membuat sensor MEMS, kelembapan merupakan musuh utama. Namun, kita tidak boleh sekadar menggunakan haba untuk mengeringkannya—terlalu banyak tekanan haba atau kotoran sedikit saja sudah cukup untuk merosakkan wafer yang mahal itu.
Itulah sebabnya kita menggunakan pemanas inframerah berkuasa tinggi. Pemanas ini dapat melaksanakan tugasnya dengan cepat. Tidak perlu menunggu lama seperti menggunakan ketuhar konveksi biasa. Dengan cara ini, kita dapat menjimatkan ruang dan mengurangkan masa yang diperlukan untuk proses pengeringan.
Kuncinya terletak pada kuasa yang digunakan.
Kita menggunakan radiasi inframerah gelombang pendek kerana ia mampu menembusi lapisan cecair di permukaan sensor. Kita menggunakan kuasa yang tinggi agar air dapat menguap dengan cepat setelah bersentuhan dengan haba. Jika hal ini tidak berlaku, akan timbul bintik-bintik air pada wafer tersebut. Dan dalam dunia MEMS, bintik-bintik air merupakan ancaman besar bagi sirkuit elektroniknya.
Tentu saja, ada keseimbangan yang perlu dipertimbangkan. Kuasa yang lebih tinggi memang mempercepat proses pengeringan, tetapi sistem pengedaran kuasa juga perlu mampu menanggung beban tersebut. Kita perlu mencari titik keseimbangan yang sesuai untuk kapasiti pengeluaran kita.
Membuat sistem pengeluaran menjadi “cerdas” (tanpa istilah-istilah teknikal yang rumit).
Saat ini, semua orang ingin mendapatkan lebih banyak data. Kami memastikan bahawa sistem IR kami dapat berfungsi bersama dengan peralatan yang sudah ada. Kami menggunakan pemantau PID dan sensor masa nyata yang dapat disambungkan terus ke MES. Ini sebenarnya merupakan rekod digital untuk setiap wafer yang dihasilkan. Jika lampu mulai redup atau sensor tidak berfungsi dengan baik, sistem akan segera memberi amaran kepada kita. Ini jauh lebih baik daripada mengetahui bahawa seluruh batch wafer telah rosak setelah proses pengeluaran selesai.
Realiti yang rumit berkaitan peralatan keras.
Sistem-sistem ini beroperasi 24/7, dan ini tentunya memberi tekanan yang besar pada peralatan tersebut. Kami menggunakan kasing kuarsa dan filamen khusus untuk memastikan cahaya yang dihasilkan tetap murni. Namun, peralatan tersebut tetap akan mengalami kerusakan.
Selain itu, haba yang dihasilkan perlu dialirkan ke suatu tempat. Jika sistem penyejukan chasis tidak berfungsi dengan baik, komponen elektronik di sekitar pemanas akan rosak. Ia merupakan keseimbangan yang rumit, tetapi apabila semuanya dikendalikan dengan baik, segalanya akan berjalan lancar.