제조 공장에서는 습한 카세트가 단순히 생산 속도를 늦추는 요인에 그치지 않습니다. 오히려 오염이 발생할 수 있는 위험한 요소가 됩니다. 남아 있는 수분은 표면 결함을 유발하며, 단 한 방울의 물만으로도 생산 효율이 크게 저하될 수 있습니다. 일반적인 건조 방식은 열차이로 인해 물이 가장자리나 모서리에 고여 있게 되는 문제가 있습니다. 따라서 중심부뿐만 아니라 전체 카세트를 균일하게 건조시킬 수 있는 건조기가 필요합니다.
적외선 가열: 밀리미터 단위의 균일한 가열 성능
우리는 제어된 NIR 방출과 밀리미터 단위로 균일한 열분포를 제공하는 적외선 건조기를 개발했습니다. 이를 통해 카세트 전체에 걸쳐 일정한 온도 프로파일을 유지할 수 있으며, 부하 구성이 변경되더라도 균일성을 유지할 수 있습니다. 포토레지스트 처리 과정에서는 열적 안정성이 매우 중요합니다. 이 시스템은 반복적인 작동에서도 일관된 성능을 보입니다. 또한 클린룸 클래스 1–100 환경에서도 사용할 수 있으며, 작동 중에는 입자가 발생하지 않습니다. 게다가 가열 프로파일도 완전히 재현 가능하여 공정 관리에 유용합니다.
웨이퍼 제조에서의 중요성
리소그래피 및 포토레지스트 처리 과정에서는 일정한 온도가 생산 효율에 매우 중요합니다. 이 건조기는 습한 카세트의 수분을 빠르게 제거해주며, 열충격이나 불균일한 증발 현상도 없습니다. 그 결과, 처리 속도가 빨라지고, 재작업이 줄어들며, 폐기물도 감소합니다. 적외선이 공기가 아닌 직접적으로 대상물을 가열하기 때문에 에너지 사용량도 줄어듭니다. 또한 24/7 연속 작동이 가능하며, 예상 가능한 유지보수 주기와 계획된 다운타임이 있어 문제가 발생하지 않습니다.
설치 및 운영 시 주의사항
이 장비는 기존의 습식 작업대에 설치할 수 있지만, 클린룸 내 압력 차이를 유지하기 위해서는 별도의 전력 회로와 적절한 배기 시스템이 필요합니다. 또한 카세트 재질에 따라 적외선 흡수율이 다를 수 있으므로, 사전에 테스트를 통해 적절한 처리 조건을 설정해야 합니다. 일단 설정되면, 이 장비는 공장이 요구하는 일관된 성능을 발휘합니다.