MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 고통 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서를 제작할 때 가장 큰 적은 바로 수분입니다. 하지만 단순히 열을 가하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 과도한 열應력이나 약간의 오염만 있어도 값비싼 웨이퍼가 쓸모없는 것으로 변해버립니다. 그래서 우리는 고출력...