फैक्ट्री में हॉट एयर से IR हीटिंग की ओर स्विच करना – आपको वास्तव में क्या जानने की आवश्यकता है?
यदि आप अपनी डीप प्रोसेसिंग प्रक्रियाओं हेतु फोर्स्ड एयर कन्वेक्शन विधि के बजाय इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग विधि का उपयोग करना चाहते हैं, तो आप वास्तव में ऊष्मा संचरण के तरीके में ही बदलाव कर रहे हैं।
हॉट एयर की कार्यप्रणाली के बारे में सोचें… आप पहले हवा को गर्म करते हैं, और फिर उम्मीद करते हैं कि वह हवा ही ऊष्मा को वेफर तक पहुँचाएगी। लेकिन यह प्रक्रिया धीमी है… इसमें देरी होती है। जबकि IR तकनीक में ऐसी कोई देरी नहीं है… यह विद्युत-चुम्बकीय विकिरण के माध्यम से सीधे ही वेफर तक ऊष्मा पहुँचाती है।
यह बहुत ही तेज़ है… वाकई बहुत तेज़।
“प्रतीक्षा का समय” – एक बड़ी समस्या
जिन लोगों ने हॉट एयर ओवनों का उपयोग किया है, वे तो थर्मल इनर्शिया की समस्या से अच्छी तरह परिचित हैं… आपको लंबे समय तक प्रतीक्षा करनी पड़ती है, ताकि ऊष्मा वेफर की सतह तक पहुँच सके… यह समय की बर्बादी है।
IR तकनीक इस समस्या को दूर कर देती है… आपको लगभग तुरंत ही ऊष्मा मिल जाती है। इंजीनियरों के लिए यह बहुत ही बड़ा लाभ है… आपको रैम्प-अप/रैम्प-डाउन समय में 60% से 80% की बचत हो जाती है। इसके अलावा, आपको वेफर के चारों ओर हवा को गर्म करने हेतु ऊर्जा खर्च करने की आवश्यकता नहीं है… ऊर्जा सीधे ही वेफर पर ही खर्च होती है।
अधिक लाभ…
इसका सबसे अच्छा पहलू यह है कि आपको बड़े ब्लोअरों एवं हवा को एक जगह से दूसरी जगह ले जाने हेतु आवश्यक डक्टों की आवश्यकता ही नहीं है।
हम IR तकनीक का उपयोग करके वेफर के विशिष्ट हिस्सों पर ही ऊष्मा दे सकते हैं… इससे आपको थर्मल ग्रेडिएंट्स पर नियंत्रण रखने में आसानी हो जाती है… ऐसे में वेफर में विकृति या तनाव पैदा होने की संभावना भी कम हो जाती है।
लेकिन… हमेशा ही कुछ समस्याएँ होती हैं…
IR तकनीक भी कोई जादुई उपाय नहीं है… चूँकि यह “लाइन-ऑफ-साइट” तकनीक है, इसलिए इसमें कुछ कमियाँ हैं… यदि आपके वेफरों की आकृतियाँ जटिल हैं, तो विकिरण हर जगह नहीं पहुँच पाता… ऐसी स्थिति में “कोल्ड स्पॉट” बन जाते हैं।
इस समस्या को दूर करने हेतु, आपको रिफ्लेक्टरों का उपयोग करना होगा… या फिर हाइब्रिड सिस्टम का उपयोग करके सब कुछ समान रखना होगा।
एक चेतावनी… यदि आप ऊष्मा की मात्रा बढ़ाकर कुछ सेकंड बचाने की कोशिश करते हैं, तो आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपका कूलिंग सिस्टम उस ऊष्मा को तेज़ी से हटा सके… अन्यथा वेफर में दरारें पड़ सकती हैं… और कोई भी ऐसा नहीं चाहेगा।