कार्बन फाइबर आईआर लैंपों का उपयोग करके “ओवन इफेक्ट” को रोका जा सकता है।
अधिकांश इन्फ्रारेड हीटर ऐसे ही होते हैं… वे चारों ओर गर्मी फैलाते हैं। यदि आप सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्र में काम कर रहे हैं, तो यह बहुत ही समस्याजनक है… क्योंकि उपकरणों की दीवारें खतरनाक रूप से गर्म हो जाती हैं।
हम इस समस्या को कार्बन फाइबर आईआर लैंपों के उपयोग से हल करते हैं… ऐसे में पूरे कमरे को गर्म करने की बजाय, ऊर्जा सीधे वहीं भेजी जाती है, जहाँ उसकी आवश्यकता है… यानी सीधे वेफर/सब्सट्रेट पर।
यह कैसे काम करता है?
कार्बन फाइबर फिलामेंट, पुराने टंगस्टन/हैलोजन तारों जैसे नहीं होते… वे बहुत ही विशिष्ट प्रकार की मध्यम-लंबी तरंगों का उत्सर्जन करते हैं। जब हम इन फिलामेंटों को उचित रिफ्लेक्टरों के साथ उपयोग में लाते हैं, तो हम गर्मी को सीधे लक्ष्य स्थान तक पहुँचा सकते हैं।
इससे उपकरण एक “विशाल ओवन” जैसा नहीं लगता… आपको आवश्यक तापमान प्राप्त हो जाता है… लेकिन उपकरण का चेसिस अत्यधिक गर्म नहीं होता। यह तो बहुत ही बेहतर तरीका है।
हार्डवेयर संबंधी विवरण:
हम ऐसे उपकरणों को ऐसे ही बनाते हैं, ताकि वे सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्रों की कठिन परिस्थितियों में भी काम कर सकें। सबसे अच्छी बात यह है कि इन उपकरणों को तेजी से गर्म किया जा सकता है… कुछ ही सेकंड में ही आवश्यक तापमान प्राप्त हो जाता है।
लेकिन ध्यान रखने योग्य बात यह है कि वोल्टेज का उपयोग सावधानी से करना होगा… यदि फिलामेंट में अत्यधिक वोल्टेज डाला जाए, तो वह नष्ट हो जाएगा। इस समस्या से बचने हेतु हम PID कंट्रोलर का उपयोग करने की सलाह देते हैं… यह ही सब कुछ संतुलित रखता है।
लाभ एवं नुकसान:
चूँकि गर्मी केवल एक ही दिशा में जाती है, इसलिए उपकरण का बाहरी हिस्सा ठंडा ही रहता है… इससे ऑपरेटरों को कोई चोट नहीं पहुँचती… और संयंत्र की एयर कंडीशनिंग प्रणाली को भी अतिरिक्त ऊर्जा की आवश्यकता नहीं पड़ती।
लेकिन ध्यान रखें… चूँकि गर्मी बहुत ही केंद्रित होती है, इसलिए सटीकता बहुत ही महत्वपूर्ण है… यदि आपका वेफर थोड़ा भी विक्षेपित हो जाए, या रिफ्लेक्टर टेढ़ा हो जाए, तो सब्सट्रेट पर गर्म/ठंडे बिंदु बन जाएंगे।
अपने माउंटिंग ब्रैकेटों को अवश्य मजबूत रखें… लैंप को सीधे ही रखना आवश्यक है… वरना पूरा उपकरण नष्ट हो जाएगा।