फैब्रिकेशन लाइन पर, आपको तो पता ही है कि क्या होता है – वेफर स्वच्छ पानी से निकलता है, लेकिन उसमें अभी भी माइक्रोलीटरों में पानी मौजूद रहता है। इस पानी को हटाने में गर्म प्लेटों को कई मिनट लग जाते हैं, और हर मिनट से प्रक्रिया में देरी हो जाती है। इसके अलावा, असमान तापन से थर्मल स्ट्रेस पैदा होता है, जिसके कारण वेफर पर आकृतियाँ ठीक से नहीं बन पातीं। NIR वेफर ड्रायर को ठीक इसी समस्या को हल करने हेतु बनाया गया है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
नियर-इन्फ्रारेड ऊर्जा, पानी एवं फोटोरेजिस्ट पर सीधे प्रभाव डालती है; इसलिए सतह का तापमान कुछ ही सेकंडों में वांछित स्तर तक पहुँच जाता है। वेफर की सतह पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, जबकि विभिन्न बैचों में यह मान ±0.2°C के भीतर ही रहता है। हीटर ऐरे में क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटरों का उपयोग किया गया है, एवं वेफर की सतह पर ही नियंत्रण हेतु क्लोज्ड-लूप पाइरोमेट्री का उपयोग किया गया है।
कणों का उत्पादन भी कम ही होता है। चैंबर क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप है; इसमें लैमिनर फ्लो एवं HEPA-इंटीग्रेटेड एक्जॉस्ट सिस्टम भी है। जीरो-कॉन्टैक्ट क्लैंपिंग के कारण वेफर की सतह साफ रहती है – कोई यांत्रिक नुकसान नहीं होता।
यह फैब्रिकेशन लाइन के लिए क्यों उपयुक्त है?
आपको ऐसा ड्रायर चाहिए जो स्पिन ट्रैक एवं लिथो सेल के बीच आसानी से लग सके, बिना किसी नुकसान के। यह ड्रायर छोटे आकार का है, स्टैंडर्ड SECS/GEM प्रोटोकॉल के साथ काम करता है, एवं 24/7 काम कर सकता है – कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रोफाइल भी इसमें उपलब्ध हैं; इसलिए जब उत्पाद में बदलाव होता है, तो ऑपरेटरों को तापमान सेटिंगों को फिर से समायोजित करने की आवश्यकता नहीं होती।
ऊर्जा उपयोग में कमी:
NIR तकनीक से केवल लक्षित हिस्सा ही गर्म होता है, पूरा वेफर नहीं। इसलिए फोटोरेजिस्ट का तापमान निर्धारित मानों के भीतर ही रहता है; इससे CD एवं ओवरले में होने वाली त्रुटियाँ कम हो जाती हैं, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
आपको क्या तैयार करने की आवश्यकता है?
NIR ड्रायर को स्थिर तापमान बनाए रखने हेतु अलग से ऊर्जा स्रोत एवं स्वच्छ कूलंट सिस्टम की आवश्यकता है। यह अधिकांश 300 मिमी ट्रैक उपकरणों के साथ काम कर सकता है; लेकिन इंस्टॉलेशन के दौरान यांत्रिक इंटरफेस एवं एक्जॉस्ट डक्टिंग की जाँच आवश्यक है।
परीक्षणों एवं रेसिपी तैयार करने हेतु लगभग दो हफ्तों का समय आवश्यक है। एक बार यह ठीक से काम करने लगे, तो प्रक्रिया अधिक सुव्यवस्थित रहेगी।