लिथोग्राफी प्रक्रिया में, 300 मिमी आकार के वेफरों को हीटर के तापमान स्थिर होने तक प्रतीक्षा करनी ही पड़ती है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” ऐसी प्रक्रियाएँ हैं जिनके द्वारा तापमान नियंत्रित किया जाता है; लेकिन यदि तापमान में असमानता हो जाए, तो वेफरों के आकार पर असर पड़ता है। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु लंबे समय तक काम करने वाले इन्फ्रारेड हीटिंग ट्यूब विकसित किए हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
ये ट्यूबें क्वार्ट्ज कवर में स्थित शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों से बनी हैं; इस कारण तेज एवं सीधा तापन होता है, एवं प्रतिक्रिया समय भी कुछ सेकंड ही होता है। बेकिंग क्षेत्र में तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखा जाता है; इससे हर वेफर को समान तापमान ही मिलता है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक इन ट्यूबों से निरंतर ऊर्जा प्राप्त होती है, एवं ऊर्जा की मात्रा में 5% से भी कम कमी होती है। इन ट्यूबों का डिज़ाइन क्लास 1–100 वाले वातावरणों के लिए ही उपयुक्त है; इसके अलावा, इनके उपयोग से कोई कण भी उत्सर्जित नहीं होता।
उत्पादन में इन ट्यूबों का उपयोग क्यों उपयोगी है?
ये ट्यूबें केवल तापमान नियंत्रण ही नहीं, बल्कि प्रक्रिया के लिए ही विकसित की गई हैं। फोटोरेजिस्ट बेकिंग प्रक्रिया में, ये ट्यूबें निरंतर एवं सटीक तापमान प्रदान करती हैं; इससे उत्पादन में गुणवत्ता में सुधार होता है, एवं अनावश्यक वेफरों की संख्या भी कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ये ट्यूबें आवश्यकता के अनुसार ही ऊर्जा प्रदान करती हैं।
कुछ व्यावहारिक बातें
इन ट्यूबों को सही तरीके से ही लगाना आवश्यक है; अन्यथा तापमान में असमानता हो सकती है। प्रत्येक बार लैंप चालू करने के बाद, पूर्ण कार्यक्षमता प्राप्त होने में थोड़ा समय लगता है। लैंपों को नियमित रूप से ही बदलना आवश्यक है, ताकि उपकरणों की कार्यक्षमता बनी रहे। उपकरणों को चालू करने से पहले, वोल्टेज एवं कनेक्टरों की जाँच अवश्य करें।