वेट फ्लोर पर, गीले कैसेटों का होना केवल एक समस्या ही नहीं है; बल्कि यह संदूषण का कारण भी बनता है। अतिरिक्त नमी के कारण सतह पर दोष पैदा हो जाते हैं, और ऐसी स्थिति में उत्पादन में कमी आ जाती है। पारंपरिक सुखाने की विधियों से पानी केवल कैसेट के केंद्रीय हिस्सों में ही सूख पाता है, जबकि किनारों एवं कोनों में पानी बना रहता है। इसलिए ऐसे सुखाने वाले उपकरणों की आवश्यकता है, जो कैसेट के पूरे हिस्से को ही सुखा सकें।
इन्फ्रारेड हीटिंग: उच्च स्तर की एकरूपता
हमने ऐसे इन्फ्रारेड सुखाने वाले उपकरण बनाए हैं, जो नियंत्रित NIR विकिरण एवं उच्च स्तर की एकरूपता के कारण कैसेटों को तेज़ी से सुखा सकते हैं। इससे कैसेट के पूरे क्षेत्र में तापमान समान रहता है, और भले ही कैसेट की संरचना में कोई बदलाव हो, फिर भी तापमान समान ही रहता है। फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में तापमान की स्थिरता बहुत महत्वपूर्ण है; यह सिस्टम हर बार ऐसी ही स्थिरता प्रदान करता है। यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप है; इसके ऑपरेशन के दौरान कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं तापमान भी पूरी तरह नियंत्रित रहता है।
वेफर निर्माण में इसका महत्व
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में उत्पादन की दर, तापमान की स्थिरता पर ही निर्भर है। यह सुखाने वाला उपकरण, कैसेटों से नमी को तेज़ी से निकाल देता है; इससे ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। यह उपकरण 24/7 चल सकता है, एवं इसकी रखरखाव आवधियाँ भी पूर्वानुमेय हैं।
स्थापना एवं संचालन संबंधी जानकारी
यह उपकरण मौजूदा वेट बेंचों में ही लगाया जा सकता है; लेकिन क्लीनरूम में आवश्यक दबाव स्थिति बनाए रखने हेतु एक अलग विद्युत सर्किट एवं उचित वेंटिलेशन व्यवस्था आवश्यक है। कैसेटों की सामग्री की उपयुक्तता भी जाँचनी आवश्यक है – कुछ पॉलिमर इन्फ्रारेड विकिरण को अलग-अलग तरीके से अवशोषित करते हैं। इसके बाद, उपकरण को कुछ समय तक चलाकर उसकी कार्यक्षमता की जाँच करें। एक बार कैलिब्रेट हो जाने के बाद, यह उपकरण आपकी आवश्यकताओं के अनुरूप ही काम करेगा।