बिना किसी परेशानी के MEMS वेफरों को सूखाना
जब हम MEMS सेंसरों का निर्माण करते हैं, तो नमी ही सबसे बड़ी समस्या होती है। लेकिन हम उन्हें बस गर्मी से सुखाने की कोशिश नहीं कर सकते… क्योंकि अत्यधिक ऊष्मा या थोड़ा सा दूषण ही उन महंगे वेफरों को बेकार बना सकता है।
इसीलिए हम उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करते हैं। ये हीटर तेजी से काम करते हैं… इससे हमें लंबे समय तक इंतजार करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती… इससे हमें बहुत समय एवं जगह भी बचती है।
रहस्य तो ऊर्जा में ही है…
हम छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह सेंसर की सतह पर मौजूद तरल पदार्थों को तुरंत ही वाष्पित कर देता है। यदि ऐसा न हो, तो सेंसर पर पानी के धब्बे बन जाते हैं… और MEMS की दुनिया में ऐसे धब्बे सेंसर के लिए विनाशकारी होते हैं।
“स्मार्ट” उपकरणों का उपयोग…
आजकल हर कोई अधिक डेटा चाहता है… हम अपने इन्फ्रारेड सिस्टमों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं कि वे आपके मौजूदा सिस्टमों के साथ आसानी से काम कर सकें… हमने PID कंट्रोलर एवं रियल-टाइम सेंसर भी शामिल किए हैं… जो आपके MES सिस्टम से जुड़ जाते हैं।
हार्डवेयर की वास्तविकता…
ये सिस्टम 24/7 काम करते हैं… इसलिए इनके लिए उच्च-गुणवत्ता वाले घटकों की आवश्यकता होती है… हम क्वार्ट्ज एवं विशेष फिलामेंटों का उपयोग करते हैं… ताकि प्रकाश शुद्ध रहे… लेकिन फिर भी इन उपकरणों पर दबाव पड़ता ही है।
चूँकि इन्फ्रारेड विकिरण दिशात्मक होता है, इसलिए सही संरेखण बहुत ही महत्वपूर्ण है… यदि लैंपों में कुछ मिलीमीटर की भी त्रुटि हो, तो वेफर पर ठंडे धब्बे बन जाते हैं… जिससे सूखने की प्रक्रिया असमान हो जाती है… और यही समस्याओं का कारण बनता है।
ऊष्मा का निपटारा…
इतनी ऊष्मा का कहाँ जाना है? यदि चेसिस का शीतलन सही न हो, तो हीटर के आसपास के इलेक्ट्रॉनिक उपकरण नष्ट हो जाते हैं… यह एक संतुलन की बात है… लेकिन जब यह संतुलन सही हो जाता है, तो सब कुछ सही चलने लगता है।