בחדר הייצור, כמו שאתם יודעים, התהליך דומה: הוופר יוצא ממכשיר השטיפה, אך עדיין מכיל מיקרוליטרים של מים בתוכו. לוקח דקות רבות עד שהחום יסיר את הלחות הזו, וכל דקה נוספת מאריכה את זמן העיבוד. גרוע מכך, חימום לא אחיד עלול לגרום למתח תרמי, שעלול לגרום לחוסר התאמה במבנה הוופר. מייבש הוופר באור קרוב-אינפרא-אדום נועד לפתור בעיה זו, בצורה פשוטה.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנרגיית האור הקרוב-אינפרא-אדום פוגעת ישירות במים ובחומר הפוטורזיסט, כך שהטמפרטורה בפני השטח מגיעה לרמה הרצויה תוך שניות, בלי צורך בהמתנה. האחידות של הטמפרטורה על פני הוופר נשארת בטווח של ±0.1°C, והחזריות בין סדרות שונות נשארת בטווח של ±0.2°C. מערכת החימום משתמשת בגלאי אינפרא-אדום, ואנו שולטים בטמפרטורה באמצעות מערכת פיורומטריה. כמו כן, ייצור החלקיקים נשאר נמוך. החדר מותאם לסטנדרט Class 1–100, עם זרימה למינרלית ומערכת פינוי אוויר מתוחכמת. החיבורים בין החלקים נעשים ללא מגע, כך שאין צורך לדאוג לסימנים מכניים על פני הוופר.
למה זה מתאים לחדר הייצור? יש צורך במייבש שיוכל להתחבר בין מסלול הסיבוב לבין מכשיר הליתוגרפיה, מבלי לפגוע במבנה הכללי של החדר. מייבש זה תופס שטח קטן, פועל באמצעות תקני SECS/GEM, ויכול לפעול 24/7 ללא הפסקות. ניתן לשנות את פרמטרי החימום בקלות, כך שכאשר המוצר משתנה, אין צורך לשנות את ההגדרות הטרמיות.
צריך להתחשב במה? מייבש האור הקרוב-אינפרא-אדום זקוק למקור אנרגיה נפרד ולמערכת קירור יעילה כדי שהטמפרטורה תישאר יציבה. הוא יכול לעבוד עם רוב הכלים שקיימים בחדר הייצור, אך יש צורך לבדוק את החיבורים המכניים ואת מערכת הפינוי בזמן ההתקנה. נדרש זמן של כשבועיים לבדיקות ולהתאמות. לאחר מכן, התהליך יהיה יעיל וצפוי.