במחלקת הייצור, קאסטה לחה אינה רק מקור לעיכובים – היא גם מהווה סיבה לזיהום. לחות שנשארת על פני השטח גורמת לפגמים במשטח, וכל טיפת לחות יכולה לפגוע באיכות המוצר. שיטות ייבוש רגילות יוצרות הבדלי טמפרטורה שגורמים להצטברות של מים בקצוות ובפינות. יש צורך במייבש שייבש את כל הקאסטה, ולא רק את החלק האמצעי שלה.
חימום באמצעות אינפרא-אדום: אחידות ברמת תת-מילימטר, יכולת חזרה על התהליך
יצרנו את מייבש האינפרא-אדום הזה על בסיס פלט קרינה מבוקר של אינפרא-אדום, ושדה תרמי אחיד עד לרמת תת-מילימטר. התוצאה היא פרופיל טמפרטורה אחיד בכל שטח הקאסטה, גם כאשר משתנה הגדרת העומס. שלבי החימום של החומרים השונים תלויים ביציבות הטמפרטורה. המערכת הזו מספקת יציבות זו שוב ושוב. היא מתאימה לתנאי חדר נקי מסוג 1–100, אינה יוצרת חלקיקים במהלך הפעולה, ופרופיל החימום שלה ניתן לשחזור לצורך בקרה על התהליך.
למה זה חשוב בייצור שבבים
בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד חומרים, האיכות תלויה בטמפרטורה אחידה. מייבש זה מסיר את הלחות מהקאסטות במהירות, ללא שוק תרמי, וללא הצטברות של טיפות מים. כתוצאה מכך, יש ייצור מהיר יותר, פחות עבודות תיקון, ופחות פסולת. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהחימום נעשה ישירות על החומר, ולא על האוויר סביבו. המערכת מיועדת לפעולה 24/7, עם פרקי תחזוקה צפויים, ללא הפסקות בלתי צפויות.
הוראות התקנה ותפעול
המכשיר יכול להתחבר לשולחנות העבודה הקיימים, אך נדרש מעגל חשמלי נפרד ומערכת ניקוז מתאימה כדי לשמור על הלחץ הנכון בחדר הנקי. יש לבדוק את תאימות החומרים של הקאסטות – חומרים מסוימים סופגים את קרינת האינפרא-אדום בצורה שונה. לאחר מכן, יש להגדיר את פרמטרי התהליך על ידי ביצוע ניסויים קצרים, כדי לקבוע את זמן החימום והטמפרטורה הנכונים. לאחר הכיול, המכשיר יפעל באופן אחיד, כפי שדורש התהליך.