מחוץ לקו ה-300 מ"מ, אתם יודעים מה לעשות: נושא מגיע מהשולחן הרטוב ועדיין נושא מיקרוליטרים של מים דה-ionized (DI) לכודים. אם אתם לא מורידים את הלחות למצב יבש ניתן לחזור עליו, היא נודדת לתוך הפוטורזיסט במהלך התהליך הרך. סובלנות קוטר הפילם (CD) נודדת, ופגמים מתחילים להופיע על הסורק. ייבוש הנושא של צלחת השבב נבנה כדי לעצור את תגובת השרשרת הזו בכניסה.
מה שבאמת חשוב מתחת למכסה המנוע עיצבנו את הייבוש סביב מערכת תרמית בעלת טוהר גבוה שמחזיקה באחידות של ±0.1°C ברמת הצלחת בכל רחבי הנושא. אלמנטים NIR מחממים במהירות וללא מגע, כך שהלחות מתרוממת ללא עיכוב תרמי. מסלול סינון בעל יעילות גבוהה שומר על יצור חלקיקים באפס ושומר על הסביבה בחדר תצוגה ברמה 1–100. התוצאה היא שליטה חוזרת על טמפרטורה במהלך שלבי האפייה של הפוטורזיסט ומצב יבש ניתן לחזור עליו, מחזור אחרי מחזור.
הנה למה זה חשוב בליתוגרפיה: התקציב התרמי אינו אופציונלי. האפייה הרכה והאפייה הקשה חייבות להיכנס לתוך המפרט כדי לקבוע את הצמיגות, ההדבקה, והקצוות של הקווים בצורה נכונה. כאשר ממיסים ושאריות לחות מוסיפים משתנים, התפלגויות שלכם מתרחבות ומחזורי עבודה חוזרים נערמים. מכונת הייבוש הזו מסירה את המשתנים הללו, כך שאתם פועלים בצורה ממוקדת יותר, פוגעים פחות, ומפסיקים לשרוף מחזורים בעבודות חוזרות. הפלטפורמה נבנית לפעולה 24/7 עם דגש על אפס זמן השבתה לא מתוכנן—תחזוקה צפויה, תפוקה צפויה.
כמה הערות מעשיות. הייבוש משתלב בהעברות יד רטובות-יבשות קיימות, אבל תשתיות האתר חשובות. תכננו עבור מסלול פליטת אוויר ייעודי ואוויר דחוס נקי ויבש כדי לשמור על יציבות מסלול הניקוי. במפעלי ייצור עם לחות גבוהה, שלב קטן של קדם-התאמת לחות יכול לעזור לנעול את זמן המחזור. אנחנו מתאימים את ממשק החיבור לסטנדרט טיפול הנושא שלכם, כך שההתקנה נשארת פשוטה ואינכם מפרים את רציפות התהליך.