בתהליך הליתוגרפיה, שבב בגודל 300 ממ אינו יכול לחכות שהמחמם יגיע לטמפרטורה הרצויה. תהליכי החימום השונים קובעים את הטמפרטורה הנדרשת, ואם הטמפרטורה אינה אחידה, השליטה ברוחב הקווים נפגעת. יצרנו צינור חימום באינפרא-אדום בעל חיי שירות ארוכים, כדי להסיר את השינויים האלו מהמשוואה.
מה חשוב מבחינה טכנית? הצינור מכיל גופי פליטה באינפרא-אדום בגלי אורך קצרים, הממוקמים בתוך מעטפת קוורץ. כך ניתן לחמם את השבב במהירות, עם זמן תגובה של פחות משנייה. באזור החימום, אנו שומרים על אחידות של ±0.1°C, כך שכל שבב מקבל את אותו תהליך חימום. ההספק נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה בעוצמת החימום של פחות מ-5%. העיצוב של הצינור מתאים לסביבות מסוג Class 1–100, והוא אינו פולט שום חלקיקים במהלך הפעולה.
למה הוא עובד טוב בייצור? הצינור נוצר במיוחד לצורך התהליך, ולא רק כדי להגיע לטמפרטורה מסוימת. בתהליך החימום של הפוטורזיסט, הצינור מאפשר חימום אחיד של השבב, דבר שמאפשר תוצאות טובות יותר. כך יש פחות שבבים שנהרסים כתוצאה משינויי טמפרטורה, וניתן לתכנן את תחזוקת הצינור מראש. צריכת האנרגיה יורדת גם היא, מכיוון שהמערכת מחממת רק כשצריך, ונשארת בטמפרטורה קבועה.
כמה הערות מעשיות: ההתקנה והיישור של הצינור דורשים דיוק רב. הצינור חייב להיות מותקן במרווחים המוגדרים על ידי המכשיר – אחרת עלולים להיווצר אזורים חמים שיפגעו באחידות החימום. לאחר כל הפעלה של הצינור, יש צורך בזמן קצר לחימום לפני שהמערכת תגיע ליציבות מלאה. יש לתכנן את החלפת הצינור בהתאם לתחזוקה השוטפת, כדי שהמערכת תוכל לפעול באופן רציף. לפני ההפעלה, יש לוודא שהמתח והחיבורים של הצינור תואמים את המפרטים של המכשיר.