Chauffage par rayonnement infrarouge vs. air chaud : une manière plus rapide de sécher les wafers
Lorsqu’il s’agit du traitement final des semi-conducteurs, tout dépend de la vitesse de séchage. Si vous continuez à utiliser de l’air chaud pour sécher vos wafers après le rinçage, vous perdez simplement du temps en attendant que l’air transfère sa chaleur à la surface des wafers. C’est un processus lent.
Les lampes à rayonnement infrarouge changent cela. Elles n’ont pas besoin d’un intermédiaire ; elles chauffent directement la pièce à traiter.
Pourquoi c’est plus rapide
Pensez au fonctionnement de l’air chaud : il faut chauffer une grande quantité d’air, le faire circuler avec des ventilateurs, et espérer que cet air atteigne uniformément toutes les surfaces. C’est beaucoup d’efforts pour un résultat lent.
Avec le rayonnement infrarouge, c’est différent. Il s’agit d’énergie radiante. Comme nous utilisons des lampes étanches pour ces étapes de rinçage, celles-ci peuvent résister à la vapeur et à l’humidité sans se détériorer. La chaleur se propage à la vitesse de la lumière.
Ainsi, un cycle de séchage qui prenait des minutes ne prend plus que quelques secondes. Vous pouvez ainsi produire davantage de pièces par heure, sans avoir besoin de plus d’espace dans votre usine.
Gestion de l’humidité
Les lignes de rinçage sont humides et pleines de vapeur. Cela représente un vrai problème pour les composants électroniques. C’est pourquoi ces lampes sont hermétiquement scellées. Nous utilisons des enveloppes en quartz et des joints résistants à l’humidité, afin que les filaments ne s’oxydent ou ne brûlent pas dès qu’une goutte d’eau les touche. De plus, comme l’énergie est très concentrée, vous obtenez une chaleur intense là où elle est nécessaire.
Les défauts (et comment y remédier)
Vous ne pouvez pas simplement remplacer un ventilateur par une lampe à rayonnement infrarouge et espérer un miracle. Ce type de lampe nécessite une visibilité parfaite. Si vos pièces ont des formes complexes, des creux profonds ou des recoins cachés, il y aura des zones où la lumière ne peut pas atteindre. Pour y remédier, il vous faudra probablement utiliser plusieurs lampes ou des réflecteurs pour diriger la chaleur vers ces zones.
Enfin, vérifiez la puissance nécessaire. Ces lampes à haute puissance consomment beaucoup d’énergie. Il se peut que vous ayez besoin de renforcer vos disjoncteurs afin d’éviter que le système ne s’éteigne à chaque fois que la charge atteint son maximum.