Dans le cluster de lithographie, les wafers de 300 mm ne restent pas inactifs en attendant que le chauffage atteigne la température souhaitée. Les procédures de chauffage doux et fort déterminent le budget thermique ; si la température fluctue ou n’est pas uniforme, le contrôle de l’épaisseur des lignes dessinées sur les wafers devient impossible. Nous avons conçu ce tube de chauffage infrarouge à longue durée de vie afin d’éliminer ces variations.
Ce qui est important du point de vue technique Le tube intègre des émetteurs infrarouges à ondes courtes à l’intérieur d’un enveloppe en quartz, ce qui permet un chauffage rapide et direct, avec une réponse en quelques centièmes de seconde. Dans toute la zone de chauffage, l’uniformité de la température est maintenue à ±0,1 °C, ce qui signifie que chaque wafer reçoit la même dose de chaleur. La puissance de sortie reste stable pendant plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de déclin d’intensité. La conception du tube permet son utilisation dans des environnements de classe 1–100 ; de plus, son fonctionnement ne génère aucune émission de particules.
Pourquoi ce tube convient bien à la production Ce tube a été conçu pour répondre aux besoins du processus de fabrication, et non simplement pour atteindre une température donnée. Lors du chauffage du photo-résist, il permet d’obtenir un profil de température précis, avec une répétabilité suffisante pour garantir des résultats constants au fil des différents lots de production. Cela permet d’améliorer le taux de réussite de la production, de réduire le nombre de wafers endommagés à cause de fluctuations de température, et de planifier les interventions de maintenance plutôt que de réagir aux pannes. De plus, la consommation d’énergie diminue, car le système se chauffe uniquement lorsque c’est nécessaire, sans excès de chaleur.
Quelques notes pratiques L’installation et l’alignement du tube doivent être effectués avec précision. Le tube doit être installé dans les espaces prévus par l’équipement ; sinon, des points chauds peuvent apparaître, ce qui entraîne une perte d’uniformité de la température. Après chaque mise en marche du tube, il faut attendre un court temps avant que celui-ci ne fonctionne de manière stable. Il est conseillé de planifier le remplacement des tubes en fonction des interventions de maintenance préventives, afin de garantir un fonctionnement continu. Avant de mettre le tube en service, assurez-vous que la tension et l’interface de connexion correspondent aux spécifications de votre équipement.