Réduire les émissions de carbone en usine de semi-conducteurs, sans nuire à la qualité des produits
soyons honnêtes : atteindre les objectifs de neutralité carbone dans une usine de semi-conducteurs est un véritable défi. Une grande partie de la consommation d’énergie se produit lors du chauffage et du durcissement des wafer. C’est simplement inefficace. C’est pourquoi nous optons pour un chauffage par rayonnement infrarouge précis. Nous avons trouvé un moyen de réduire la consommation d’énergie et d’accélérer les processus en utilisant plus intelligemment la chaleur.
Faire en sorte que la chaleur atteigne exactement l’endroit où elle est nécessaire
Si la température n’est pas uniforme sur tout le wafer, vous avez un problème. Mais on ne peut pas simplement augmenter la température en espérant le meilleur résultat, sinon les bords du substrat seront endommagés.
Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes, car ils permettent un chauffage rapide. Au lieu de chauffer toute la chambre, comme dans un four géant et lent, la chaleur atteint directement la surface du wafer. On évite ainsi de gaspiller de l’énergie inutilement, en se concentrant uniquement sur le wafer lui-même. C’est une manière beaucoup plus efficace de travailler.
Arrêtez de deviner, commencez à mesurer
Une lampe de chauffage est pratiquement inutile si l’on ne sait pas exactement ce qu’elle fait. C’est pourquoi nous intégrons des capteurs infrarouges haute vitesse dans le système.
Cela fonctionne comme une conversation : le capteur surveille en temps réel le wafer et indique à la lampe quand il faut baisser la température, dès que celle-ci atteint la valeur cible. Plus de risque de dépassement de température, et donc moins de gaspillage d’énergie.
La vérité sur les améliorations “vertes”
En réalité, devenir “vert” n’est pas aussi simple que d’appuyer sur un interrupteur. Ces lampes à haute intensité génèrent beaucoup de chaleur. On ne peut pas simplement remplacer un ancien chauffage par une nouvelle lampe et penser que c’est suffisant.
Il faut également prendre en compte les systèmes de refroidissement. Si ceux-ci ne peuvent pas gérer cette charge importante, les capteurs commenceront à donner des valeurs incorrectes. Et une fois que cela arrive, l’uniformité de la température disparaît. Il s’agit d’un compromis qu’il faut anticiper.
Nous essayons de rendre ces remplacements aussi simples que possible. En réduisant la consommation d’énergie et en accélérant le temps de chauffage, nous parvenons à diminuer la consommation totale d’énergie par wafer. C’est une méthode efficace pour réduire l’empreinte carbone de l’usine, sans nuire à la qualité des produits.