Die richtige Temperatur in Ihrer intelligenten Fertigungsanlage erreichen
Wenn Sie eine Industrie-4.0-Fertigungsanlage bauen, haben Sie wahrscheinlich bereits erkannt, dass herkömmliche Widerstandsheizungen nicht mehr ausreichen.
Das Problem ist folgendes: Im Vakuum gibt es keine Konvektion mehr – man kann sich nicht auf die Bewegung der Luft zur Wärmeübertragung verlassen. Man bleibt also nur mit der Strahlung zurück – und das wird schon schwierig. Deshalb setzen wir auf Hochleistungs-Infrarot-Systeme. Diese bringen die Energie genau dorthin, wo sie benötigt wird – bei der Bearbeitung von Wafern oder bei der Aufbringung von Schichten – ohne die lästigen Verzögerungen, die bei herkömmlichen Heizelementen auftreten.
Kein „Blindfliegen“ mehr
Die meisten Standardheizungen sind im Grunde genommen „blind“. Sie geben einfach nur Wärme ab und hoffen auf das Beste.
Wir machen es anders: Wir kombinieren unsere Infrarotlampen mit geschlossenen PID-Reglern sowie Echtzeit-Pyrometer. Dadurch können Sie das thermische Profil Ihres Behälters in Millisekunden erkennen. Durch die Verwendung von SCRs kann man den Leistungswert sofort anpassen. Keine weiteren thermischen Überschreitungen mehr – keine Vermutungen mehr. Ihr Prozessverlauf bleibt genau dort, wo er sein sollte.
Leistung versus Präzision
Im Vakuum muss man mit sehr großen Temperaturunterschieden umgehen. Um damit umzugehen, verwenden wir Quarz-Halogen-Technologie – dadurch kann man viel Leistung in einen kleinen Raum packen. Das ist schnell – wirklich schnell. Dadurch werden die Aufwärmezeiten verkürzt und die Zykluszeiten deutlich kürzer.
Aber es gibt ein Problem: Hochleistungs-Lampen werden an ihren Enden extrem heiß. Wenn man spart und billige Kühlungen verwendet oder die Spezifikationen falsch wählt, können die Dichtungen schmelzen oder die Flansche des Behälters verbogen werden. Glauben Sie mir, das möchte man wirklich nicht erleben. Eine zuverlässige Kühlung ist die einzige Lösung.
Ein System, das mit Ihnen mitwächst
Der Vorteil modularer Infrarotanlagen ist, dass man die Heizzonen nach Bedarf anpassen kann. Man kann unabhängige Heizelemente nutzen, um die Probleme bei größeren Wafern zu lösen. Dadurch wird das ganze System flexibel. Wenn man die Wärmeverteilung ändern möchte, braucht man nur die Software anzupassen. Man muss keine Hardware austauschen oder einen ganzen Wochenende damit verbringen, den Behälter neu aufzubauen.
So wird Ihr Heizsystem zu einem Werkzeug, das man tatsächlich programmieren kann – anstatt zu einem statischen Metallteil.