Wie man die MEMS-Wafer trocknet – ohne Probleme Bei der Herstellung von MEMS-Sensoren ist Feuchtigkeit der größte Feind. Man kann die Wafer jedoch...

Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden! Wenn Sie Siliziumwafer erhitzen, zählt jedes Watt. Das Problem ist: Standard-Quarzlampen strahlen...

Kohlenstoffemissionen in der Halbleiterfertigung reduzieren – ohne die Produktionseffizienz zu beeinträchtigen Seien wir ehrlich: Es ist schwierig,...

Warum wir auf Infrarot-Trocknungsverfahren für leitfreie Halbleiter umgestiegen sind Seien wir ehrlich: Diese alten Konvektionsöfen sind wirklich...

In der Fertigungshalle gilt folgendes Prinzip: Ein Wafer kommt aus dem Reinigungsprozess und enthält immer noch Mikroliter an Wasser. Es dauert...

In der Fertigungshalle reicht bereits eine Temperaturabweichung von 0,5 °C aus, um kritische Abmessungen zu verändern – was dazu führt, dass viel...

Beobachten Sie, wie ein MEMS-Wafer nach dem letzten Spülen von der Anlage kommt. Wenn der Trocknungsheizer nicht seine Aufgabe erfüllt, entstehen...

Auf der 300-mm-Linie wissen Sie, wie der Hase läuft: Ein Träger kommt von der Nassbank und trägt noch Mikroliter von eingeschlossenem DI-Wasser. Wenn...

On the line, you can’t afford drift. A soft bake that’s off by even a fraction of a degree across the wafer shows up in the photoresist...