In der Fertigungshalle reicht bereits eine Temperaturabweichung von 0,5 °C aus, um kritische Abmessungen zu verändern – was dazu führt, dass viel Material als Schrott endet. Wenn die Heizgeräte für die Wafer es nicht schaffen, die erforderlichen Temperaturen während einer 24/7-Betriebszeit aufrechtzuerhalten, muss man einen Kompromiss eingehen – zwischen Produktqualität und Betriebsdauer. Unsere industriellen Waferheizgeräte sind nach einem einzigen Prinzip konzipiert: Eine solide Temperaturregelung, die auch dann noch funktioniert, wenn der Betrieb nicht unterbrochen werden darf.
Was technisch wichtig ist
Wir halten die Homogenität der Temperatur auf der gesamten Oberfläche des Wafer bei ±0,1 °C – dadurch bleiben sowohl die sanften als auch die intensiven Erhitzungsprozesse im zulässigen Temperaturbereich des Photoresists. Die NIR-Elemente sorgen für schnelle und präzise Temperaturanpassungen, wobei die Reproduzierbarkeit von Charge zu Charge konstant bleibt. Das System ist kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100. Jede Heizzone ist so konzipiert, dass keine Partikel entstehen – keine Ausgasung, kein Ablösen der Beschichtung, keine Kontaminationen. Es kann daher 24/7 betrieben werden, ohne unplanmäßige Stillstände. Zudem übertrifft die Lebensdauer der Geräte die üblichen MTBF-Werte.
Warum das funktioniert
In Lithografieanlagen muss die Wärmeentwicklung mit dem Prozessablauf Schritt halten – der Prozess darf nicht warten. Unsere Heizgeräte erreichen schnell die gewünschten Temperaturen, halten sie konstant und wiederholen diesen Vorgang immer wieder – dadurch wird Schrott und Nacharbeiten reduziert. Das Ergebnis ist eine stabile Kontrolle der CD-Werte, weniger Defekte durch Erhitzungsprozesse sowie planbare Wartungszeiten. Der Energieverbrauch wird optimiert, ohne dass die Temperaturstabilität beeinträchtigt wird. Somit kann bei gleichzeitig engen Prozessparametern mit niedrigeren Temperaturen gearbeitet werden.
Das Problem mit hochpräzisen Temperatursystemen
Hochpräzise Temperatursysteme erfordern eine sorgfältige Integration. Man muss die Heizgeräte an die Anschlüsse der Maschinen anpassen – Stromversorgung, Steckertyp sowie Sicherheitsvorkehrungen – und dies während der Inbetriebnahme überprüfen. Es dauert etwas Zeit, bis die richtigen Temperaturprofile eingestellt sind. Sobald alles richtig eingestellt ist, sorgen die hohe Reproduzierbarkeit sowie die Kompatibilität mit Reinräumen dafür, dass die Geräte eine zuverlässige Grundlage für die Massenproduktion darstellen.