Wie man die MEMS-Wafer trocknet – ohne Probleme Bei der Herstellung von MEMS-Sensoren ist Feuchtigkeit der größte Feind. Man kann die Wafer jedoch...

Warum die IR-Härtung eine gute Lösung für umweltfreundliche Fertigungsprozesse ist Immer, wenn ich die Energieverbrauchszahlen in einer...

Bei Brennstoffzellen sind die Katalysatorschichten dünn, leitfähig und empfindlich gegenüber Temperaturänderungen. Schon ein heißer Punkt oder eine...

Beobachten Sie, wie ein MEMS-Wafer nach dem letzten Spülen von der Anlage kommt. Wenn der Trocknungsheizer nicht seine Aufgabe erfüllt, entstehen...

Winter zieht ins Büro ein, und die Situation ist bekannt: Pullover übereinander, Zugluft dringt ein, und ständig hört man ein Schnupfen im...

On the line, you can’t afford drift. A soft bake that’s off by even a fraction of a degree across the wafer shows up in the photoresist...