晶圆加热的安全距离

别再浪费热量了 在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。 问题在于：普通的石英灯会将能量向各个方向散发，也就是360度全方位辐射。这意味着你实际上是在为加热机器的框架而付费，而非真正用于加热晶圆本身。这简直是一种浪费。 为了解决这个问题，我们使用了镀金反射器。这其实是个简单的物理原理——通过反射...