Infrarooddroger voor cassette reinigen
Op de productielijn vormt een vochtige cassette niet alleen een beperking voor de productie – het is ook een bron van contaminatie. Overblijvend...
Waferdrager reinigingsdroger
Op de 300mm lijn weet je hoe het gaat: een drager komt van de natte werkbank en draagt nog microliters gevangen DI-water. Als je die vochtigheid niet...