Membuat Wafer MEMS Kering Tanpa Masalah Saat memproduksi sensor MEMS, kelembapan merupakan musuh utama. Namun, kita tidak bisa sekadar menggunakan...

Di lini produksi, Anda tidak bisa mengizinkan adanya drift. Soft bake yang meleset bahkan hanya sepersekian derajat di seluruh wafer akan terlihat...