در فرآیند بستهبندی، تغییر نیم درجهای در دمای حرارت کافی است تا کل محصول از بین برود. پروفایلهای فوتورزیست تغییر کرده، حفرههای موجود در ساختار محصول آشکار میشوند و این امر باعث افزایش هزینههای بازسازی میگردد. سیستمهای CSP در سطح ویفر، نیاز به کنترل حرارتی دقیقتری دارند؛ بنابراین، هیتر باید یک منبع استابیل و قابل اعتماد برای کنترل دما باشد.
چه چیزی اهمیت دارد؟
ما این هیتر را با تمرکز بر کنترل دمای دقیق طراحی کردهایم: خطای دما باید در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد؛ این مقدار در سطح ویفر اندازهگیری میشود، نه فقط در سنسورها. کنترل سریع دما، باعث کاهش زمان لازم برای فرآیند حرارتی میشود، بدون اینکه به پروفایل دمایی آسیبی وارد شود. این هیتر در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ کار میکند؛ مواد و ساختار آن نیز باعث جلوگیری از تولید ذرات میشود؛ بنابراین، هیچ نوع آلودگی یا تخریبی در هنگام فرآیند حرارتی رخ نمیدهد. این هیتر برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای.
چرا این هیتر در فرآیند CSP مؤثر است؟
در فرآیند CSP، هیتر مستقیماً دمای لازم برای فرآیند حرارتی را تنظیم میکند، فرآیند تصلب پلیمرها را کنترل کرده و شرایط لازم برای فرآیند پر کردن حفرههای موجود در ساختار ویفر را فراهم میکند. کنترل دقیق دما، باعث میشود که خطوط روی سطح ویفر در حد استانداردها باقی بمانند؛ همچنین، مواد استفاده شده در بستهبندی نیز باعث جلوگیری از آلودگی میشوند. از آنجایی که تنظیمات دما به سرعت انجام میشود، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد.
نکات عملی قبل از خرید:
این هیتر میتواند در ابزارهای موجود در فرآیند CSP استفاده شود، اما رابط و ساختار مکانیکی آن باید با اندازه ابزار و ویفر مطابقت داشته باشد. لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا دما در سراسر سطح ویفر اندازهگیری شود؛ سپس میتوانید از آن استفاده کنید. یک محدودیت وجود دارد: ضخامت حداکثری ویفر بسته به مدل متفاوت است؛ بنابراین، قبل از خرید، حتماً ضخامت ویفر خود را بررسی کنید.