خشک کردن ویفرهای MEMS بدون مشکلات احتمالی
هنگام ساخت سنسورهای MEMS، رطوبت دشمن اصلی است. اما نمیتوان فقط از حرارت برای خشک کردن آنها استفاده کرد؛ زیرا استرس حرارتی بیش از حد یا آلودگیهای کوچک میتواند باعث تخریب ویفرهای گرانقیمت شود.
به همین دلیل، از گرمکنهای مادون قرمز با توان بالا استفاده میکنیم. این گرمکنها کار را به سرعت انجام میدهند؛ دیگر نیازی نیست منتظر باشیم تا فرهای معمولی کار خود را انجام دهند. این کار باعث صرفهجویی در فضای مورد نیاز و کاهش زمان لازم برای پردازش ویفرها میشود.
راز موفقیت، توان مناسب است.
ما از تشعشعات مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این تشعشعات میتوانند لایه رطوبت روی سطح سنسور را از بین ببرند. ما از توان بالا برای جلوگیری از تجمع آب استفاده میکنیم؛ اگر این کار به سرعت انجام نشود، لکههای آبی روی سطح ویفر ایجاد میشود. و در دنیای MEMS، وجود لکههای آبی میتواند باعث تخریب مدارهای الکترونیکی شود.
البته، باید تعادلی وجود داشته باشد؛ توان بالاتر به معنای سرعت بیشتر است، اما این کار نیازمند سیستم توزیع توان مناسب است. باید بهترین توان برای نیازهای خاص خود انتخاب کرد.
سیستمهای هوشمند برای پردازش ویفرها
امروزه همه به دادههای بیشتری نیاز دارند. ما اطمینان حاصل میکنیم که سیستمهای مادون قرمز ما بتوانند با سیستمهای موجود در فرآیند تولید همکاری کنند. ما کنترلرهای PID و سنسورهای لحظهای را در این سیستمها استفاده کردهایم؛ این سنسورها میتوانند به سیستم MES متصل شوند.
در واقع، این سیستمها یک ردپای دیجیتال برای هر ویفر ایجاد میکنند؛ اگر یکی از لامپها کمنور شود یا یکی از سنسورها دچار اختلال شود، سیستم بلافاصله به شما اطلاع میدهد. این روش بهتر از این است که بعداً متوجه شویم که کل دسته ویفرها از بین رفتهاند.
واقعیت پیچیده سختافزارها
این سیستمها در محیط تولید ۲۴ ساعته کار میکنند؛ این موضوع برای سختافزارها بسیار سخت است. ما از غلافهای کوارتزی و فیلامنتهای ویژه برای حفظ خلوص نور استفاده میکنیم، اما باز هم سختافزارها تحت فشار قرار میگیرند.
همچنین، از آنجایی که تشعشعات مادون قرمز جهتدار هستند، تنظیم صحیح زاویه اهمیت زیادی دارد. اگر لامپها تنها چند میلیمتر از جای خود منحرف شوند، لکههای سردی روی سطح ویفر ایجاد میشود؛ این امر منجر به خشک نشدن یکنواخت ویفر میشود.
علاوه بر این، تمام انرژی حرارتی باید به جایی برود؛ اگر سیستم خنککننده دستگاه درست کار نکند، الکترونیکهای اطراف گرمکن آسیب خواهند دید. این یک تعادل بسیار حساس است، اما وقتی که به درستی تنظیم شود، کار سیستم به خوبی انجام خواهد شد.