Tại sao chúng ta sử dụng lớp phủ vàng trong quy trình xử lý wafer
Khi xây dựng lò nung trong môi trường sạch, thách thức thực sự không chỉ nằm ở việc tăng nhiệt độ mà còn là việc đảm bảo rằng nhiệt lượng được truyền đến đúng vị trí cần thiết. Nếu bạn sử dụng năng lượng để làm nóng các wafer silic nhưng năng lượng lại bị lãng phí do không đến được mục tiêu, thì bạn đang lãng phí năng lượng một cách vô ích. Tệ hơn nữa, điều này khiến các bức tường của lò nung trở thành những “bể hấp thụ nhiệt” khổng lồ. Đây chính là lúc các bộ phản xạ được phủ bằng vàng phát huy tác dụng.
Giữ nhiệt ở một vị trí nhất định
Hầu hết mọi người thường bắt đầu bằng việc sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm. Chúng khá phổ biến, nhưng chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng. Vàng thì khác. Kim loại này có khả năng phản xạ năng lượng hồng ngoại trở lại bề mặt wafer một cách hiệu quả. Có thể coi đó như việc tập trung chùm ánh sáng vào một điểm cụ thể. Thay vì để năng lượng lan tỏa ra các bức tường của lò nung, nó sẽ được giữ nguyên trên bề mặt wafer. Đây là cách hiệu quả hơn để kiểm soát năng lượng.
Những hạn chế (vì luôn có những điều cần lưu ý)
Vấn đề là bạn không thể đơn giản chỉ phủ vàng lên bộ phản xạ rồi coi như xong. Bạn cần cân bằng giữa công suất năng lượng và cách thức truyền nhiệt. Những chiếc đèn hồng ngoại có công suất cao rất hữu ích để làm nóng wafer nhanh chóng. Nhưng khi sử dụng vàng để tập trung toàn bộ năng lượng vào một điểm nhỏ, các đầu đèn sẽ trở nên cực kỳ nóng. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, các bộ phận của đèn sẽ bị hỏng ngay lập tức. Bạn cần có dòng khí đủ mạnh để duy trì sự ổn định, nếu không bạn sẽ phải thay thế các linh kiện thường xuyên hơn mong muốn.
Làm sao để hệ thống hoạt động hiệu quả
Chúng tôi thiết kế các hệ thống này sao cho chúng có thể được lắp đặt ngay vào môi trường sạch hiện có mà không gây ra bất kỳ vấn đề gì. Yếu tố quan trọng nhất chính là độ chính xác. Nếu lớp phủ vàng không được phủ đều, sẽ xuất hiện những điểm nóng. Điều này dẫn đến việc wafer bị biến dạng hoặc không được xử lý đồng đều, điều này rất tồi tệ đối với hiệu suất sản xuất. Nhưng nếu lớp phủ vàng được phủ đúng cách, thì nhiệt độ sẽ được kiểm soát tốt hơn. Bạn có thể tăng tốc độ sản xuất, và xử lý nhiều wafer hơn mà không lo lắng quá nhiều.
Lưu ý: Hãy chú ý đến nguồn điện cung cấp. Sự thay đổi đột ngột về điện áp có thể làm hỏng các đèn hồng ngoại nhanh hơn cả việc thông gió kém. Hãy giữ cho điện áp ổn định, và hệ thống sẽ hoạt động tốt.