У літографічному обладнанні пластини розміром 300 мм не можуть просто чекати, поки нагрівач досягне необхідної температури. Процес нагріву поділяється на „м’який“ та „жорсткий“. Якщо температура змінюється або є нерівномірною, контроль товщини ліній на пластині стає неможливим. Ми створили інфрачервоний нагрівальний елемент довгого терміну служби, який допомагає усунути ці проблеми.
Що є важливим з технічної точки зору
Елемент містить короткохвильові інфрачервоні випромінювачі, розташовані всередині кварцової оболонки. Це дозволяє досягти швидкого та ефективного нагріву з часом реакції менше секунди. У зоні нагріву температура підтримується на рівні ±0,1°C, що означає, що кожна пластина отримує однаковий рівень нагріву. Ефективність нагріву залишається стабільною протягом 5 000 годин та більше, зі зниженням інтенсивності нагріву менше ніж на 5%. Конструкція елемента призначена для використання в умовах класу чистоти 1–100; під час роботи не відбувається виділення жодних частинок.
Чому цей елемент підходить для виробництва
Цей елемент розроблений спеціально для процесу нагріву, а не лише для підтримки певної температури. Під час нагріву фоторезисту він забезпечує точне дотримання параметрів температури, що дозволяє досягти кращої якості продукції. Це також зменшує кількість відходів через нерівномірний нагрів. Крім того, можна планувати технічне обслуговування заздалегідь, а не реагувати на проблеми під час роботи. Використання енергії також зменшується, оскільки система нагрівається лише тоді, коли це необхідно, без перевищення заданих параметрів.
Кілька практичних порад
Монтаж та налаштування елемента вимагають точності. Його необхідно встановлювати в межах вказаних параметрів обладнання – інакше можуть виникнути проблеми з нерівномірним нагрівом. Після кожного запуску елемента потрібен короткий час на прогрівання перед досягненням стабільної робочої температури. Заміну елемента слід планувати в рамках запланованого технічного обслуговування, щоб забезпечити безперервну роботу обладнання. Перед запуском необхідно переконатися, що напруга та тип роз’єму відповідають характеристикам вашого обладнання.