На виробничій лінії вологий кассет не є просто перешкодою для процесу виробництва – це ще й причина можливого забруднення. Залишки вологи призводять до дефектів на поверхні, а навіть одна крапля води може зіпсувати всю продукцію. Традиційне сушіння створює теплові градієнти, які залишають воду у краях та кутах кассети. Потрібен сушар, який буде сушити всю кассету, а не лише її центральну частину.
Інфрачервоне нагрівання: однорідність на рівні підміліметра, можливість повторного використання
Ми створили цей інфрачервоний сушар для очищення кассет, використовуючи контрольоване випромінювання в інфрачервоній області спектра та теплове поле, яке є однорідним навіть на рівні підміліметра. Це забезпечує однорідну температуру по всій поверхні кассети, навіть коли змінюється конфігурація завантаження. Кроки обробки фоторезисту залежать від стабільності теплового режиму. Ця система забезпечує таку стабільність з кожним циклом роботи. Вона сумісна з умовами чистих кімнат класу 1–100, не створює жодних частинок під час роботи, а профіль нагрівання є повністю відтворюваним для контролю якості процесу.
Чому це важливо у виробництві пластин
У процесах літографії та обробки фоторезисту ключовим фактором є стабільна температура. Цей сушар швидко видаляє вологу з очищених кассет, без створення теплових шоків та без утворення крапель води, які можуть нерівномірно випаровуватися. Це дозволяє зробити процес більш ефективним, зменшити кількість переделок та відходів. Використання енергії зменшується, оскільки інфрачервоне випромінювання нагріває сам об’єкт, а не повітря навколо нього. Крім того, цей сушар призначений для 24/7 роботи, з передбачуваними інтервалами технічного обслуговування та без несподіваних простоїв.
Інструкції з встановлення та експлуатації
Цей пристрій можна встановити на існуючі столи для обробки кассет, але потрібна окрема електрична мережа та належна система відведення повітря для підтримання необхідного рівня тиску в чистій кімнаті. Необхідно також перевірити сумісність матеріалу кассет – деякі полімери поглинають інфрачервоне випромінювання по-різному. Після налаштувань пристрій буде працювати з необхідною однорідністю.