
Reduzindo as emissões de carbono na fábrica sem prejudicar a produtividade
Sejamos honestos: alcançar metas de neutralidade carbônica em uma fábrica de semicondutores é um desafio enorme. Grande parte do desperdício energético ocorre durante o aquecimento e a cura dos wafers. É simplesmente ineficiente. Por isso, estamos apostando no uso de sistemas de aquecimento por infravermelho de alta precisão. Encontramos maneiras de reduzir o consumo de energia e encurtar o tempo necessário para o processo, aplicando o calor de forma mais inteligente.
Levar o calor exatamente onde é necessário
Se a temperatura não for uniforme em todo o wafer, você tem um problema. Mas não dá para simplesmente aumentar a temperatura esperando que tudo funcione bem; caso contrário, as bordas do substrato serão danificadas.
Usamos emissores de infravermelho de onda curta, pois eles são muito rápidos. Em vez de aquecer toda a câmara, como um forno gigante e lento, o calor atinge diretamente a superfície do wafer. Assim, não há mais desperdício de energia com o ar ao redor do componente, e o foco fica apenas no próprio componente. É uma maneira muito mais eficiente de trabalhar.
Pare de adivinhar, comece a detectar
Uma lâmpada de aquecimento é praticamente inútil se você não souber exatamente o que está fazendo. Por isso, integramos sensores de infravermelho de alta velocidade no sistema. Eles monitoram o wafer em tempo real e informam à lâmpada quando reduzir a temperatura, assim que ela atinge o valor desejado. Não há mais risco de exceder a temperatura e desperdiçar energia, já que o sistema reage rapidamente.
A verdade sobre as “atualizações verdes”
A verdade é que tornar-se “verde” não é tão simples quanto ligar um interruptor. Essas lâmpadas de alta intensidade geram muito calor. Não basta substituir o aquecedor antigo e considerar o problema resolvido. É preciso verificar se o sistema de resfriamento consegue suportar essa carga elevada. Caso contrário, os sensores começarão a falhar, e a uniformidade da temperatura será comprometida. É um trade-off que precisa ser planejado com cuidado.
Tentamos tornar essas substituições o mais simples possível. Ao controlar melhor a temperatura e acelerar o tempo de aquecimento, conseguimos reduzir o consumo total de energia por wafer. É uma maneira eficaz de diminuir a pegada de carbono da fábrica, sem prejudicar a produtividade.