Na fábrica de semicondutores, sabe-se como funciona o processo: uma wafer sai da etapa de lavagem e ainda contém microlitros de água. Leva minutos para que os sistemas de aquecimento eliminem toda essa umidade, e cada minuto extra aumenta o tempo total do ciclo. Pior ainda, o aquecimento irregular pode causar estresse térmico, o que resulta em desalinhamento dos padrões na superfície da wafer. O secador de wafer a emissão de luz infravermelha foi desenvolvido justamente para resolver esse problema.
O que é importante tecnicamente: A energia infravermelha atinge diretamente a água e o fotoresistente, fazendo com que a superfície atinja a temperatura desejada em segundos, sem precisar esperar pela condução térmica. A uniformidade de temperatura ao longo da wafer fica dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes lotes fica dentro de ±0,2°C. O conjunto de aquecedores utiliza emissores de quartzo-halogênio ajustados para a faixa de luz infravermelha. Controle preciso é mantido por meio de sensores de temperatura localizados diretamente sobre a wafer.
A geração de partículas também é reduzida. A câmara é compatível com normas de classe 1–100, com fluxo laminar e sistema de exaustão com filtro HEPA. O sistema de fixação sem contato mantém a parte frontal da wafer limpa, sem marcas mecânicas.
Por que esse secador é adequado para as fábricas de semicondutores: É necessário um secador que possa ser inserido entre o equipamento de centrifugação e a célula de litografia, sem comprometer o layout geral da fábrica. Este dispositivo ocupa pouco espaço, opera via protocolos SECS/GEM padrão e funciona 24/7, sem interrupções inesperadas. Os perfis de secagem estão definidos nos parâmetros do equipamento, então, quando ocorrem mudanças no produto, não é necessário reajustar os parâmetros térmicos.
O consumo de energia diminui, pois a luz infravermelha aquece apenas o alvo desejado, e não toda a estrutura do equipamento. O processo de secagem do fotoresistente fica dentro das especificações, o que reduz as variações de espessura e diminui a necessidade de retrabalho.
O que precisa ser planejado: O secador a emissão de luz infravermelha precisa de seu próprio sistema de alimentação de energia e de um circuito de refrigeração eficiente para manter a temperatura estável. Ele funciona com a maioria dos equipamentos de 300 mm, mas ainda é necessário verificar a interface mecânica e os canais de exaustão durante a instalação.
Espera-se um período de aproximadamente duas semanas para testes de ajuste e configuração do equipamento. Uma vez configurado, o processo torna-se mais previsível.