No cluster de litografia, um wafer de 300 mm não pode ficar parado, esperando que o aquecedor atinja a temperatura desejada. O processo de aquecimento consiste em “soft bake” e “hard bake”, e se a temperatura variar ou não for uniforme, o controle da largura das linhas do wafer fica comprometido. Por isso, desenvolvemos um tubo de aquecimento infravermelho de longa duração, para eliminar essas variações.
O que é importante, do ponto de vista técnico
O tubo utiliza emissores de infravermelho de onda curta dentro de um invólucro de quartzo, o que permite um aquecimento rápido e direto, com resposta em menos de um segundo. Na área de aquecimento, mantemos uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C, o que significa que cada wafer recebe o mesmo tratamento térmico. A potência de saída permanece estável por mais de 5.000 horas, com uma diminuição na intensidade inferior a 5%. O design do tubo permite seu uso em ambientes de classe 1–100, e sua montagem não gera emissão alguma de partículas durante o funcionamento.
Por que ele funciona bem na produção
Esse tubo foi projetado para atender às necessidades do processo, e não apenas para atingir uma determinada temperatura. No processo de secagem do fotoresist, ele converte o ponto de referência em um perfil de espessura da camada fotossensível, com repetibilidade suficiente para garantir consistentes resultados em diferentes lotes. Isso resulta em maior produtividade, menor quantidade de wafers com defeitos causados por variações térmicas, e manutenção planejada, em vez de reações às interrupções no funcionamento. Além disso, o consumo de energia também é reduzido, pois o sistema aquece somente quando necessário, sem superar os limites estabelecidos.
Algumas observações práticas
A instalação e alinhamento do tubo são muito precisos. Ele precisa ser instalado dentro dos intervalos especificados pela ferramenta; caso contrário, há risco de pontos quentes e perda de uniformidade. Após cada inicialização da lâmpada, espera-se um breve período de aquecimento antes que ela atinja a estabilidade total. Planeje a substituição da lâmpada de acordo com a manutenção preventiva programada, para garantir que o equipamento continue funcionando sem interrupções. Antes de colocar o tubo em operação, verifique se a tensão e a interface de conexão correspondem às especificações do seu equipamento.