Na linii produkcyjnej znamy już procedurę: płyta wychodzi z procesu mycia i nadal zawiera mikrolitry wody. Potrzeba kilku minut, aby usunąć tę wilgoć za pomocą grzejników, a każda minuta dodaje się do czasu całego cyklu. Co gorsza, nierównomierne nagrzewanie może powodować naprężenia termiczne, które objawiają się błędami w układzie elementów na płycie. Suszarka do płytek w zakresie światła bliskiego podczerwieni została stworzona właśnie po to, by rozwiązać ten problem.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Światło bliskiej podczerwieni oddziałuje bezpośrednio na wodę oraz fotorezyst, więc temperatura na powierzchni płytki osiąga żądany poziom w ciągu kilku sekund, bez konieczności czekania na przenoszenie ciepła. Równomierność temperatury na całej powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, a powtarzalność między poszczególnymi partiami produktu – ±0,2°C. Grzejniki składają się z emiterów kwarcowo-halogennych dostrojonych do pasma światła bliskiej podczerwieni. Kontrolę temperatury zapewnia system pyrometrii z zamkniętym obiegiem, umieszczony bezpośrednio na powierzchni płytki.
Poziom powstawania cząsteczek również jest niski. Komora jest zgodna z normami klasy 1–100, charakteryzuje się laminarnym przepływem powietrza oraz systemem chłodzenia typu HEPA. Bezkontaktowe uchwytowanie płytki zapewnia jej czystość – nie ma żadnych mechanicznych uszkodzeń.
Dlaczego ta suszarka nadaje się do użytku na linii produkcyjnej? Potrzebna jest suszarka, która może być umieszczona pomiędzy urządzeniami do obróbki płytek a samymi komorami produkcyjnymi, bez zakłócania normalnego funkcjonowania linii. Ta suszarka zajmuje niewiele miejsca, pracuje poprzez standardowe interfejsy SECS/GEM, a także może działać 24/7 bez przerw. Profile nagrzewania są zapisane w instrukcjach obsługi, więc gdy zmienia się produkt, operatorzy nie muszą ponownie dostrojować parametrów nagrzewania.
Zasoby energetyczne są oszczędzane, ponieważ światło bliskiej podczerwieni ogrzewa tylko celownik, a nie całą strukturę płytki. Proces suszenia fotorezystu odbywa się zgodnie z normami, więc błędy w rozmiarach płytki są minimalne, a konieczność korekty jest rzadka.
Na co należy zwrócić uwagę podczas planowania? Suszarka w zakresie światła bliskiej podczerwieni wymaga własnego źródła zasilania oraz sprawnego systemu chłodzenia, aby utrzymać stabilną temperaturę. Działa z większością urządzeń o średnicy 300 mm, ale podczas instalacji należy sprawdzić mechaniczną integrację oraz kanały wydechowe.
Oczekujmy około dwutygodniowego czasu na dostosowanie sprzętu pod konkretne wymagania. Gdy wszystko będzie gotowe, proces będzie przebiegał efektywnie i przewidywalnie.