W procesie produkcji płytek krzemowych mokra kasetka nie stanowi jedynie przeszkody w pracy – to wręcz zaproszenie do zanieczyszczeń. Nadmiar wilgoci powoduje defekty na powierzchni, a nawet jeden taki defekt może zaszkodzić efektywności produkcji. Tradycyjne metody suszenia powodują powstanie gradientów temperatury, które sprawiają, że woda pozostaje w krawędziach i rogach kasetki. Potrzebny jest więc suszarka, która suszy całą kasetkę, a nie tylko jej środek.
Nagrzewanie podczerwienią: idealna jednolitość na poziomie poniżej milimetra, możliwość powtarzalności
Stworzyliśmy tę suszarkę na bazie kontrolowanego wydzielenia promieniowania podczerwonego oraz równomiernego pola termicznego na poziomie poniżej milimetra. Dzięki temu uzyskujemy stały profil temperaturowy w całej kasetce, nawet gdy zmienia się konfiguracja materiału znajdującego się w niej. Procesy obróbki fotoopornika zależą od stabilności temperatury – ten system zapewnia to za każdym razem. Jest też kompatybilny z warunkami panującymi w pomieszczeniach klasy 1–100, nie powoduje żadnych zanieczyszczeń podczas pracy, a profil nagrzewania jest w pełni powtarzalny, co ułatwia kontrolę procesu.
Dlaczego to istotne w produkcji płytek krzemowych
W litografii i obróbce fotoopornika efektywność produkcji zależy od stałej temperatury. Ta suszarka szybko usuwa wilgoć z wypranych kasetek, bez powstawania szoków termicznych oraz bez powstania kropel, które mogłyby nierównomiernie się parować. Dzięki temu uzyskujemy wyższą szybkość produkcji, mniej konieczności ponownych procesów obróbki oraz mniej odpadów. Zużycie energii jest mniejsze, ponieważ podczerwień grzeje bezpośrednio przedmioty, a nie powietrze wokół nich. Ponadto suszarka jest przystosowana do pracy 24/7, z przewidywalnymi interwałami konserwacji i bez niespodziewanych przerw w pracy.
Wskazówki dotyczące instalacji i użytkowania
Urządzenie można zainstalować w istniejących stanowiskach do obróbki mokrej, ale potrzebny będzie dedykowany obwód elektryczny oraz prawidłowo skonfigurowany układ wentylacyjny, aby utrzymać odpowiednią różnicę ciśnień w pomieszczeniu. Należy sprawdzić kompatybilność materiału kasetki – niektóre polimery wchłaniają promieniowanie podczerwone w różny sposób. Po kalibracji urządzenie pracuje z taką dokładnością, jakiej wymaga proces produkcji.