Het verminderen van de CO2-uitstoot in de halfgeleiderfabriek, zonder dat dit negatieve gevolgen heeft voor de opbrengst
Laten we eerlijk zijn: het bereiken van de doelstellingen op het gebied van koolstofneutraalheid in een halfgeleiderfabriek is een uitdaging. Een groot deel van de energieverspilling vindt plaats tijdens het verwarmen en drogen van de wafers. Dat is gewoon inefficiënt. Daarom maken we gebruik van precisie-IR-verwarming. We hebben een manier gevonden om de energieverbruik te verminderen en de tijd die nodig is voor het proces te verkorten, door slimmer om te gaan met de toevoer van warmte.
De warmte precies waar deze nodig is
Als de temperatuur op de wafel niet gelijkmatig is, heb je een probleem. Je kunt niet zomaar de temperatuur verhogen in de hoop dat alles goed komt; anders kunnen de randen van het substraat beschadigen worden.
We gebruiken kortegolflengte-IR-emitters, omdat deze zeer snel zijn. In plaats van de hele ruimte te verwarmen, wordt de warmte rechtstreeks op het oppervlak van de wafel gebracht. Hierdoor wordt geen energie meer verspild aan de lucht rondom het onderdeel. Het is een veel efficiëntere manier van werken.
Stoppen met gissen, beginnen met meten
Een verwarmingsscherm is eigenlijk nutteloos als je niet precies weet wat het doet. Daarom hebben we hoge-snelheids-IR-sensors in het systeem geïntegreerd.
Het werkt als een soort communicatie: de sensor houdt de wafel in de gaten en geeft het scherm aan wanneer de gewenste temperatuur is bereikt. Zo hoef je geen energie meer te verspillen door te veel warmte te produceren.
De waarheid over “groene” upgrades
Het is niet zo simpel om groener te worden: je kunt niet zomaar een oude verwarming vervangen en denken dat het dan klaar is. Je moet rekening houden met de koelsystemen. Als deze het zware thermische belasting niet aankunnen, zullen de sensoren onnauwkeurig gaan werken. En zodra dat gebeurt, is de gelijkmatigheid verdwenen. Het is een compromis dat je moet overwegen.
We proberen deze vervangingsonderdelen zo veel mogelijk ‘plug-and-play’ te maken. Door de thermische parameters nauwkeuriger te bepalen en de opwarmtijd te versnellen, kunnen we het totale energieverbruik per wafel verminderen. Het is een simpele manier om de CO2-uitstoot in de Cleanroom te verminderen, zonder dat dit invloed heeft op de opbrengst.