Stop de scherven: Bescherm je wafers tegen storingen in de infraroodlampen
Als je met hoge productiesnelheden werkt in een glovebox, weet je hoe belangrijk het is om fouten te voorkomen. Er is geen ruimte voor fouten.
Als een infraroodbuis kapotgaat, is dat geen klein probleem. Het is een echte ramp. Je hebt dan kwartsstukken en halogeengas die op je wafers terechtkomen. Voor iedereen die zich zorgen maakt over de kwaliteit van de producten, is dit een enorme nachtmerrie.
Daarom bouwen we onze infraroodelementen op deze manier. We willen dit risico voorkomen, voordat het zelfs maar invloed kan hebben op je productie.
Waarom buizen eigenlijk kapotgaan
Meestal komt het door thermische schokken of lokale hittepunten. Om dit tegen te gaan, gebruiken we hoogpure kwarts, met een wanddikte die bestand is tegen snelle cycli zonder dat er barsten ontstaan.
We letten ook goed op de wolfraamdraad. We houden deze strak vast en zorgen ervoor dat hij precies in het midden ligt. Waarom? Omdat als de draad verschuift, er een hittepunt ontstaat. En hittepunten verzwakken het kwarts. Simpel gezegd.
Bovendien voegen we vaak een beschermend laagje toe. Denk erbij aan een soort ‘verzekeringspolis’. Als het binnenste element faalt, vangt de buitenste laag de scherven op. Geen glasstof op je substraat. Geen paniek.
Omgaan met de hitte
Hoge vermogenslampen zorgen voor een snelle opwarmtijd, maar ze zijn zwaar voor de aansluitingen. We gebruiken verstevigde aansluitingen om kortsluiting te voorkomen.
Hier is een tips: controleer je bedrading. Als deze loszit, zal de hitte zich ophopen, waardoor de aansluiting smelt en de lamp kapotgaat. Houd ook goed in de gaten hoeveel stroom er wordt geleverd. Zelfs een kleine overtollige spanning kan de levensduur van de draad sterk verkorten.
De echte compromissen
Niets is perfect. Die beschermende lagen zijn prima voor de veiligheid, maar ze belemmeren wel een beetje de overdracht van infraroodstralen. Je kunt dan een daling van 5-10% in de warmteontwikkeling merken vergeleken met een gewone buis.
Het is echter gemakkelijk op te lossen. Pas gewoon de PID-instellingen aan of geef de lamp wat meer tijd om op te warmen.
Een laatste tip: zorg ervoor dat je elke 500 uur je afdichtingen controleert. Als de lucht in de glovebox lekt of vies wordt, kan het kwarts reageren en beschadigen. Dat maakt de buis broos.
Houd de omgeving schoon, dan blijven je verwarmers goed functioneren.