Dalam proses litografi, wafer berukuran 300mm tidak boleh dibiarkan begitu sahaja sambil menunggu pemanas berfungsi sepenuhnya. Proses pemanasan yang dilakukan perlu dilakukan dengan cara yang tepat agar suhu dapat dikawal dengan baik. Jika suhu berubah-ubah atau tidak seragam, kawalan ketebalan garis pada wafer akan terjejas. Kami telah mencipta tiub pemanas inframerah yang tahan lama untuk mengatasi masalah ini.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Tiub ini menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek di dalam selubung kuarsa, sehingga pemanasan dapat berlaku dengan cepat dan efektif. Kita dapat memastikan suhu tetap seragam dalam lingkungan ±0.1°C, meaning setiap wafer akan mendapat perlakuan termal yang sama. Prestasi tiub ini kekal stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan intensiti cahaya kurang dari 5%. Reka bentuk tiub ini juga sesuai untuk digunakan dalam persekitaran kelas 1–100, dan ia tidak menghasilkan sebarang zarah semasa beroperasi.
Mengapa ia sesuai untuk digunakan dalam pengeluaran:
Tiub ini direka khusus untuk proses pengeluaran, bukan sekadar untuk mengekalkan suhu tertentu. Dalam proses pembakaran bahan fotoresist, tiub ini membantu mencipta profil filem yang konsisten, tanpa gangguan akibat perubahan suhu. Ini membolehkan kadar pengeluaran yang lebih tinggi, serta mengurangkan jumlah wafer yang rosak akibat perubahan suhu. Selain itu, kos tenaga juga dapat dikurangkan, kerana sistem ini hanya pemanas apabila diperlukan, tanpa perlu beroperasi secara berterusan.
Beberapa nota praktikal:
Pemasangan dan penyesuaian tiub ini memerlukan ketepatan yang tinggi. Tiub ini perlu dipasang mengikut jarak yang ditetapkan oleh alat tersebut; jika tidak, risiko berlakunya kawasan panas dan ketidseragaman suhu akan meningkat. Selepas setiap kali tiub dihidupkan, ia memerlukan masa sebentar untuk mencapai keadaan operasi yang stabil. Gantikan tiub tersebut mengikut jadual penyelenggaraan yang telah ditetapkan, supaya masa operasi dapat dipastikan. Sebelum digunakan, pastikan voltan dan antaramuka penyambungnya sesuai dengan spesifikasi peralatan anda.