Di fasiliti pengeluaran cip, kaset yang masih basah bukan sahaja menjadi halangan dalam proses pengeluaran, tetapi juga merupakan sumber pencemaran. Kelembapan yang tinggal boleh menyebabkan kerosakan pada permukaan cip, dan ini seterusnya akan menjejaskan kualiti produk. Kaedah pengeringan konvensional akan menyebabkan perbezaan suhu di bahagian tepi dan sudut kaset, sehingga air masih tertahan di situ. Anda memerlukan alat pengering yang mampu mengeringkan keseluruhan kaset, bukan hanya bahagian tengahnya.
Pengeringan menggunakan haba inframerah: Keseragaman pada skala sub-milimeter, hasil yang boleh diulang
Kami mencipta alat pengering inframerah ini dengan menggunakan pancaran cahaya NIR yang terkawal, serta medan haba yang seragam hingga ke skala sub-milimeter. Ini memastikan suhu yang sama pada seluruh permukaan kaset, walaupun konfigurasi beban berubah. Proses pembakaran bahan fotoresisten juga bergantung pada stabiliti suhu. Sistem ini dapat memberikan hasil yang konsisten dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Ia sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, tidak menghasilkan zarah-zarah yang boleh merosakkan produk semasa operasi, dan profil pemanasan yang dihasilkan sangat konsisten, sesuai untuk tujuan pemantauan proses.
Mengapa ia penting dalam pengeluaran cip
Dalam proses litografi dan pemprosesan bahan fotoresisten, kualiti produk bergantung pada suhu yang konsisten. Alat pengering ini mampu menghilangkan kelembapan dari kaset yang telah dibersihkan dengan cepat, tanpa menyebabkan tekanan haba yang berlebihan, dan tanpa meninggalkan titik-titik kelembapan yang tidak terselesaikan. Dengan cara ini, proses pengeluaran menjadi lebih cepat, pengulangan kerja berkurangan, dan jumlah sisa pun berkurangan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana haba inframerah memanaskan objek secara langsung, bukan udara di sekelilingnya. Selain itu, alat ini direka untuk beroperasi 24/7, dengan jadual penyelenggaraan yang tetap, tanpa gangguan operasi yang tidak dijangka.
Arahan pemasangan dan pengoperasian
Alat ini boleh dipasang pada meja kerja yang sudah ada, tetapi anda memerlukan litar elektrik khusus serta sistem pengudaraan yang efektif untuk mengekalkan tekanan di bilik bersih. Pastikan bahan kaset sesuai untuk digunakan, kerana beberapa jenis polimer menyerap haba inframerah secara berbeza. Setelah disahkan, alat ini akan berfungsi dengan konsistensi yang diperlukan oleh fasiliti pengeluaran cip.