Di kilang pembuatan semikonduktor, perubahan suhu sekecil mana pun boleh mengganggu dimensi-dimensi penting yang diperlukan dalam proses pengeluaran, dan ini akan menyebabkan pembaziran yang banyak. Oleh itu, kita memerlukan sistem pemanasan yang boleh dipercayai, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami mencipta lampu semikonduktor ini berdasarkan prinsip untuk mengawal suhu di tempat yang paling penting, iaitu pada wafer. Sistem ini mampu mengekalkan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C, dan ini seterusnya melindungi kualiti produk yang dihasilkan.
Keserasian dengan bilik bersih bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan. Bahan-bahan dan reka bentuk lampu ini memastikan bahawa penghasilan zarah-zarah berbahaya dapat dikurangkan hingga ke tahap sifar, walaupun dalam persekitaran kelas 1–100. Dengan penggunaan lampu ini secara berterusan, prestasinya tetap stabil. Profil suhu juga kekal konsisten, sehingga proses pemanggangan dapat dilakukan dengan lebih efisien.
Mengapa ia berkesan
Dalam proses pemprosesan photoresist, suhu yang seragam memastikan proses penyingkiran pelarut dan proses pengikatan antara bahan-bahan berlaku dengan sempurna. Ini seterusnya membantu mengurangkan kecacatan dan meningkatkan kadar pengeluaran. Lampu ini memberikan suhu yang seragam di seluruh permukaan wafer, sambil memastikan kebersihan yang tinggi agar tiada kotoran masuk ke dalam bilik proses.
Dengan cara ini, jumlah pembaziran akan berkurangan, masa kitaran proses dapat dirancang dengan lebih baik, dan penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan kerana proses pemanasan berlaku dengan tepat dan cepat. Selain itu, jangka masa perkhidmatan lampu yang panjang bermakna tidak perlu menyimpan stok lampu ganti yang banyak.
Perkara yang perlu diketahui
Lampu ini memerlukan antaramuka kuasa dan kawalan yang sesuai dengan peralatan utama. Terdapat kit penyesuaian yang tersedia, tetapi anda perlu memastikan keserasiannya dengan model peralatan dan proses yang digunakan. Anda perlu meluangkan sedikit masa untuk menyesuaikan sistem pemanasan agar sesuai dengan geometri bilik proses dan susunan wafer. Setelah itu, sistem akan berfungsi dengan baik tanpa perlu penyesuaian lagi. Pastikan anda memeriksa prestasi lampu dan sensor suhu secara berkala, agar proses dapat berjalan seperti yang diharapkan.