Di bilik pengeluaran, anda dapat merasakannya apabila suhu semasa proses pembakaran berubah sebanyak 0.2°C – ketebalan lapisan photoresist akan berubah. Ketidakseragaman suhu yang berlaku akan menyebabkan gambar yang dihasilkan menjadi tidak jelas. Lampu merupakan komponen penting dalam proses pemanasan ini. Jika lampu tersebut tidak berfungsi dengan baik, kualiti produk akan menurun.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Filamen pengganti yang digunakan direka khusus untuk sistem halogen dan gelombang inframerah pendek yang digunakan dalam alat-alat litografi. Filamen ini memastikan output spektrum yang stabil serta kawalan suhu yang tepat sepanjang proses pembakaran, sehingga ketebalan lapisan photoresist kekal dalam lingkungan ±0.1°C.
Kita menyesuaikan geometri dan emisiviti filamen agar sesuai dengan struktur pemanas, supaya suhu yang dihasilkan selaras dengan data yang diberikan oleh sensor, bukannya disebabkan oleh perubahan suhu secara tiba-tiba. Pemilihan bahan yang tepat juga membantu mengurangkan pelepasan gas dan pembentukan zarah-zarah di dalam bilik pengeluaran, sekaligus memastikan jumlah zarah di bilik pengeluaran tetap rendah, pada tahap Class 1–100.
Filamen ini mampu beroperasi selama 5,000 jam atau lebih pada kuasa yang ditetapkan, dengan penurunan output kurang dari 5%. Selain itu, filamen ini juga memastikan prestasi yang konsisten sepanjang proses pembakaran, serta keserasian voltan dan sambungan dengan peralatan OEM yang digunakan.
Mengapa ia penting di bilik pengeluaran:
Proses pembakaran yang stabil akan membantu memastikan kualiti produk yang tinggi. Suhu yang dikawal dengan baik akan membantu memastikan ketepatan dimensi produk, dan ketebalan lapisan photoresist akan tetap seragam. Dengan demikian, keperluan untuk melakukan kerja ulang akan berkurangan. Waktu proses juga dapat diramalkan dengan lebih tepat. Selain itu, penggunaan tenaga juga akan berkurangan kerana lampu mampu mengekalkan suhu yang ditetapkan tanpa melebihi hadnya. Dalam proses pembungkusan, stabiliti ini sangat penting untuk proses penyembuhan pada suhu rendah, di mana tekanan haba mempengaruhi kualiti produk.
Perkara yang perlu diambil kira:
Pastikan lampu dipadankan dengan aliran udara dan kapasiti haba alat tersebut. Mengganti panjang lampu boleh mengubah masa pemanasan dan mempengaruhi profil suhu semasa proses pembakaran. Semak orientasi dan voltan sambungan sebelum pemasangan – kesalahan polariti boleh menyebabkan masalah. Untuk mendapatkan ketepatan yang maksimum, laraskan semula nilai pyrometer selepas 100 jam pertama penggunaan, agar dapat menyesuaikan diri dengan keadaan awal alat tersebut.