반도체 제조 공정에서 탄소 배출을 줄이면서도 생산량은 유지하는 방법
솔직히 말해서, 반도체 제조 공장에서 탄소 중립 목표를 달성하는 것은 쉽지 않습니다. 에너지 낭비가 가장 심한 부분은 웨이퍼를 가열하고 경화시키는 과정입니다. 이는 분명히 비효율적인 방식입니다. 그래서 우리는 정밀한 적외선 가열 방식을 사용합니다. 열을 보다 효율적으로 전달함으로써 에너지 소비를 줄이고 처리 시간도 단축할 수 있습니다.
열을 정확히 필요한 곳에 전달하기
웨이퍼 전체의 온도가 균일하지 않다면 문제가 생깁니다. 하지만 그냥 열을 세게 가해보는 것은 위험합니다. 그렇게 하면 기판의 가장자리가 손상될 수 있습니다.
우리는 단파 적외선 방출기를 사용합니다. 이 방식은 매우 빠릅니다. 마치 거대한 오븐처럼 공간 전체를 가열하는 대신, 열이 직접 웨이퍼 표면에 전달됩니다. 그러므로 주변 공기에 에너지를 낭비하는 일이 없어집니다. 이는 훨씬 효율적인 방식입니다.
추측하지 말고, 센서를 활용하세요
열을 가하는 램프가 제대로 작동하는지 알 수 없다면 아무 쓸모가 없습니다. 그래서 우리는 시스템에 고속 적외선 센서를 내장했습니다. 센서는 실시간으로 웨이퍼의 상태를 모니터링하며, 목표 온도에 도달하면 램프의 출력을 조절합니다. 이렇게 하면 시스템이 반응하기까지 시간이 오래 걸려 에너지를 낭비하는 일이 없습니다.
“친환경” 업그레이드에 대한 진실
사실, 친환경화는 그렇게 간단한 일이 아닙니다. 이러한 고강도 램프들은 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 그냥 기존의 히터를 교체하는 것만으로는 충분하지 않습니다.
냉각 시스템도 고려해야 합니다. 만약 냉각 시스템이 그러한 고부하를 감당할 수 없다면 센서의 데이터가 왜곡될 수 있습니다. 그렇게 되면 웨이퍼의 온도가 균일하지 않아집니다. 이는 반드시 고려해야 할 문제입니다.
우리는 가능한 한 이러한 부품들을 그대로 교체할 수 있도록 노력합니다. 열 전달 효율을 높이고 가열 속도를 빠르게 함으로써, 웨이퍼당 필요한 에너지를 줄일 수 있습니다. 이는 생산량에 영향을 주지 않으면서도 클린룸의 탄소 배출을 줄이는 간단한 방법입니다.