Ridurre le emissioni di carbonio nella fabbrica di semiconduttori, senza compromettere la produttività
Se siamo onesti, raggiungere gli obiettivi legati alla neutralità carbonica in una fabbrica di semiconduttori non è affatto semplice. Una grande quantità di energia viene sprecata durante il riscaldamento e la cottura dei wafer. È semplicemente inefficace. Ecco perché optiamo per un sistema di riscaldamento a infrarossi ad alta precisione. Abbiamo trovato un modo per ridurre il consumo energetico e abbreviare i tempi di lavorazione, utilizzando un metodo più efficace per applicare il calore.
Riscaldare esattamente dove serve
Se la temperatura su tutta la superficie del wafer non è uniforme, c’è un problema. Ma non si può semplicemente aumentare la temperatura, altrimenti si rischiano danni ai bordi del substrato. Utilizziamo emissori a infrarossi a onde corte: sono molto veloci nel riscaldare la superficie del wafer. In questo modo non si spreca energia nell’aria circostante, ma tutto l’energia viene concentrata sulla superficie stessa del wafer. È un metodo molto più efficiente.
Smettere di indovinare, iniziare a misurare
Una lampada di riscaldamento è inutile se non si sa esattamente cosa fa. Ecco perché integriamo nei sistemi sensori a infrarossi ad alta velocità. I sensori monitorano in tempo reale la temperatura del wafer e avvisano la lampada di ridurre l’intensità del calore non appena viene raggiunta la temperatura desiderata. Così non si spreca energia a causa di reazioni troppo lente da parte del sistema.
La verità sui “miglioramenti ecologici”
In realtà, diventare “verdi” non è così semplice come premere un interruttore. Queste lampade ad alta intensità producono molta calore. Non basta sostituire l’antico sistema di riscaldamento per risolvere il problema. Bisogna considerare anche i sistemi di raffreddamento: se non riescono a gestire questa enorme quantità di calore, i sensori inizieranno a dare errori. E una volta che ciò accade, la uniformità della temperatura va persa. È un compromesso che bisogna prendere in considerazione. Cerchiamo di rendere questi sistemi il più possibile simili a quelli tradizionali. Riducendo il consumo energetico e accelerando i tempi di riscaldamento, possiamo ridurre l’impatto ambientale della fabbrica, senza compromettere la produttività.