Role आप अंतिम रिंसिंग से MEMS वेफर निकलते हुए देखें। यदि ड्राइंग हीटर ठीक से काम नहीं करता है, तो जलचिह्न बनते हैं, फिर फोटोरेसिस्ट की चिपकन विकृत हो...

लाइन पर, ड्रिफ्ट की जगह नहीं होती। वाफर के पार भी एक अंशांक डिग्री की गलती वाला सॉफ्ट बेक फोटोरेजिस्ट प्रोफ़ाइल में दिखाई देता है—एज बीड, मोटाई के...