Unterbindung des Wärmeverlusts in den Werkzeugen Die meisten Infrarotlampen sind ziemlich unzuverlässig – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab,...

Im Bereich der Lithographie wird ein 300-mm-Wafer nicht einfach nur da liegen gelassen, in der Hoffnung, dass der Heizer erst einmal auf Temperatur...