Im Bereich der Lithographie wird ein 300-mm-Wafer nicht einfach nur da liegen gelassen, in der Hoffnung, dass der Heizer erst einmal auf Temperatur kommt. Die „Soft Bake“- und „Hard Bake“-Prozesse bestimmen das thermische Verhalten des Wafer. Wenn die Temperatur nicht konstant bleibt, wird die Kontrolle über die Dicke der Schichtschichtungen beeinträchtigt. Wir haben daher einen Infrarotheizstab entwickelt, der diese Unsicherheiten ausgleicht.
Was technisch wichtig ist:
Der Heizstab besitzt Kurzwellen-Infrarotemitter, die in einer Quarzkapsel untergebracht sind. Dadurch wird eine schnelle, direkte Erwärmung erreicht – mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. In der Erhitzungszone halten wir eine Temperaturkonstanz von ±0,1°C aufrecht – das bedeutet, jeder Wafer erhält dieselben thermischen Bedingungen. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei der Intensitätsabfall weniger als 5% beträgt. Der Heizstab ist außerdem für Umgebungen der Klassen 1–100 geeignet; außerdem entstehen während des Betriebs keine Partikelemissionen.
Warum er in der Produktion funktioniert:
Dieser Heizstab wurde speziell für den jeweiligen Prozess entwickelt – nicht nur für eine bestimmte Temperatur. Bei der Erhitzung des Photoresists wird die gewünschte Temperatur präzise erreicht, was zu wiederholbaren Ergebnissen führt – unabhängig von Schicht oder Charge. Dadurch erhöht sich die Ausbeute bei komplexen Strukturen, es fallen weniger defekte Wafer an, und die Wartung kann geplant werden statt reaktiv erfolgen zu müssen. Zudem wird der Energieverbrauch verringert, da das System nur dann heizt, wenn es nötig ist, und dabei konstant bleibt.
Einige praktische Hinweise:
Die Montage und Ausrichtung des Heizstabs müssen sehr genau erfolgen. Der Heizstab muss innerhalb der vom Gerät vorggebenen Toleranzen angebracht werden – andernfalls entstehen Hotspots und die Temperaturkonstanz wird beeinträchtigt. Nach jedem Einschalten des Heizstabs gilt es mit einer kurzen Aufwärmphase zu rechnen, bevor eine stabile Betriebstemperatur erreicht wird. Der Austausch des Heizstabs sollte im Rahmen der geplanten Wartungsarbeiten erfolgen, damit die Betriebszeit erhalten bleibt. Vor der Inbetriebnahme sollten Sie sicherstellen, dass Spannung und Anschlussstandard zu den Spezifikationen Ihres Geräts passen.