In der Fertigungshalle spürt man es sofort, wenn das sanfte Bäckprofil um 0,2 °C abweicht – die Dicke des Fotolacks beginnt sich zu verändern. Dadurch entsteht Uneinheitlichkeit bei der Trocknung, und die Linienverläufe werden unklar. Die Lampe ist somit das Herzstück des thermischen Prozesses. Wenn sie versagt, geht die Energie nicht in die Verbesserung der Geräteleistung, sondern in Unregelmäßigkeiten.
Was technisch wichtig ist: Unser Ersatzfilament ist für Quarz-Halogen- sowie Kurzwellen-Infrarot-Systeme in Lithografiegeräten konzipiert. Es gewährleistet eine stabile Spektralausgabe sowie eine wiederholbare Temperaturregelung über den gesamten Trocknungsprozess hinweg. Dadurch bleibt die Homogenität der Wafer bei ±0,1 °C.
Wir passen die Geometrie sowie die Emissivität des Filaments an die Gegebenheiten der Heizkammer an, sodass die eingestellte Temperatur dem Sensor entspricht – nicht den Schwankungen. Durch die richtige Wahl des Materials wird das Ausgasen minimiert, wodurch die Anzahl der Partikel im Reinraum bei einem Wert von Class 1–100 bleibt.
Man kann mit einer Lebensdauer von 5.000 Stunden bei der Nennleistung rechnen – dabei wird weniger als 5 % der Leistung verloren. Zudem gibt es ein konstantes Verhalten beim Erreichen der Zieltemperatur. Auch die Kompatibilität mit den gängigen OEM-Geräten ist gegeben.
Warum das in der Fertigungshalle wichtig ist: Durch das sanfte bzw. starke Bäckverfahren werden stabile Prozesse erreicht. Dadurch wird die Empfindlichkeit des Fotolacks berücksichtigt, die Kontrolle der kritischen Abmessungen wird verbessert und die Wiederholgenauigkeit der Filmdicke steigt.
Es müssen weniger Nacharbeiten durchgeführt werden. Die Cycle-Zeiten sind vorhersehbar. Zudem wird weniger Energie pro Wafer verbraucht, da die Lampe die Zieltemperatur ohne Überschreitung hält. Bei der Verpackung spielt diese Stabilität eine wichtige Rolle, insbesondere bei der Kühlung bei niedrigen Temperaturen sowie bei der Füllung von Lücken zwischen den Bauteilen – hier bestimmt der thermische Stress die Ertragsqualität.
Was man beachten muss: Die Lampe muss zur Luftzirkulation sowie zur thermischen Masse des Geräts passen. Ein Wechsel auf eine andere Lampenlänge ändert die Aufwärmzeit und kann das Bäckprofil beeinflussen.
Vor der Installation muss die Ausrichtung der Anschlüsse sowie die Spannung überprüft werden – eine falsche Polarität kann Probleme verursachen. Für maximale Homogenität sollte nach den ersten 100 Stunden die Einstellung des Pyrometers angepasst werden, um die Anfangsschwankungen auszugleichen.