Auf dem Lithoboden darf man beim Soft-Bake-Prozess keine Abweichungen zulassen. Wenn die Temperatur um nur 0,5 °C vom Sollwert abweicht, driftet die Fotolackdicke sofort aus der Spezifikation, und ehe man sich versieht, schrumpft das Ätzfenster. Die Ofenlampe ist nicht nur eine Wärmequelle – sie ist ein reproduzierbarer thermischer Prozess, Ende der Diskussion.
Wir haben diese Lampe um kurzwellige Infrarotstrahler mit Quarz-Halogen-Emitter entwickelt. Das ermöglicht einen schnellen, direkten Energietransfer und eine zügige thermische Reaktion. Über dem Träger hält die gleichmäßige Wafer-Temperatur bei ±0,1 °C, mit einer Closed-Loop-Regelung, die das thermische Budget vom Soft Bake bis zum Hard Bake konstant hält.
Sie ist für Reinräume der Klassen 1–100 konzipiert: mit einer Architektur, die wenig Partikel freisetzt, und einem HEPA-kompatiblen Abluftsystem, sodass die Partikelzahlen auch während langer Backprozesse stabil bleiben. Das System läuft 24/7, mit einer mittleren Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTBF) im Tausenderbereich und einer Ausgangsstabilität innerhalb von 2 % über mehr als 5.000 Stunden.
In der Produktion bedeutet das eine engere Kontrolle der kritischen Dimensionen und weniger Nacharbeiten. Die Wiederholbarkeit des Soft Bake reduziert die Randbead und hält das Profil über den Wafer hinweg konstant, sodass das Ätzen im Fenster bleibt und der Ertrag steigt.
Der Energieverbrauch wird mit gepulster Steuerung und effizienter Kopplung gesteuert – keine Kosten für Übersteuerung beim Anstieg. Der Vorteil sind vorhersehbare Backprofile, eine solide Haftung des Fotolacks und eine Übereinstimmung von Linie zu Linie, die Schicht für Schicht stabil bleibt.
Hier sind einige Punkte, die Sie bei der Installation beachten sollten: Stimmen Sie die Geometrie der Kammer ab und überprüfen Sie die Größe des Abluftkanals. Der Platzbedarf der Lampe ist kompakt, aber Sie benötigen dennoch Freiraum um die Emissionszone für ein ordnungsgemäßes thermisches Management.
Das Gerät ist für Siliziumwafer und Standard-Fotolackstapel optimiert. Wenn Sie dicke Polymerlagen verarbeiten, benötigen Sie wahrscheinlich ein maßgeschneidertes Temperaturprofil, um Hautbildung zu vermeiden. Spezifizieren Sie die Spannung und den Anschluss für Ihr Werkzeug, um den Prozess unter Kontrolle zu halten.