
কেন গ্রিন ফ্যাবগুলোর জন্য IR কিউরিং সবচেয়ে ভালো বিকল্প?
যখনই আমি কোনো সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবে শক্তি ব্যবহার নিয়ে পরীক্ষা করি, তখন সবসময়ই একই সমস্যা দেখা যায়—অর্থাৎ কনভেকশন ওভেনগুলো। এগুলো অত্যন্ত শক্তি-খরচকারী যন্ত্র। ভাবুন তো—একটি ছোট্ট ওয়েফারের উপরের পাতলা আবরণটি শুকানোর জন্য পুরো ধাতব চেম্বারটিকে উত্তপ্ত করতে হয়। এটা যেন একটি পিজ্জার টুকরো গরম করার জন্য পুরো বাড়িটিকে উত্তপ্ত করার মতো।
এখানেই IR কিউরিং-এর গুরুত্ব রয়েছে। ঘরটিকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে, এটি সরাসরি ওয়েফারটিকে উত্তপ্ত করে।
আলোই হলো মূল উপায়
IR কিউরিং-এ ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক রেডিয়েশন ব্যবহৃত হয়; অর্থাৎ শক্তি আলোর গতিতে চলে। এটি গরম বাতাস তৈরি হওয়ার জন্য অপেক্ষা করে না; সরাসরি লক্ষ্যবস্তুটিকে আঘাত করে।
আরও ভালো ব্যাপার হলো, IR রশ্মিগুলো ফটোরেজিস্ট বা দ্রাবকের সাথে মিলে যায়। ফলে শক্তি সরাসরি রাসায়নিক বন্ধনগুলোতে প্রবেশ করে; যেখানে এটার সবচেয়ে বেশি প্রয়োজন। এতে যন্ত্রের দেয়ালগুলো উত্তপ্ত হয় না।
প্রক্রিয়াটিকে আরও সহজ করা
আমরা প্রায়শই “লিড-ফ্রি” মানদণ্ড নিয়ে কথা বলি; কিন্তু এটা শুধুমাত্র সোল্ডারের ব্যাপার নয়। এটা পুরো থার্মাল সিস্টেমের ব্যাপার।
পুরানো ধরনের হিটিং এলিমেন্টগুলো এমন ধাতু ব্যবহার করে যা গ্যাস নির্গত করতে পারে; অথবা নিরাপত্তার জন্য বিশেষ সুরক্ষা ব্যবস্থা দরকার। কিন্তু IR ল্যাম্পগুলো সিলড অবস্থায় থাকে। কোনো দহন নেই, কোনো ধোঁয়া নেই; ক্লিনরুমে কোনো অপ্রয়োজনীয় কণা নেই। ফলে পরিবেশটি আরও পরিষ্কার থাকে।
কিন্তু একটি সমস্যা রয়েছে…
IR কিউরিং সবসময়ই কার্যকর নয়। যদি পাওয়ার ডেনসিটি খুব বেশি হয়, অথবা কনভেয়র বেল্টটি ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে ওয়েফারের কিনারাগুলো পুড়ে যেতে পারে, অথবা থার্মাল স্ট্রেস সৃষ্টি হতে পারে। এটা খুব দ্রুত ঘটে। তাই PID কন্ট্রোলার ও সেন্সরগুলো দরকার, যেন মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই প্রতিক্রিয়া দেওয়া যায়। নইলে সমস্যা হবে।
শক্তি ব্যবহারের দিক থেকে সুবিধা
আসল সুবিধা হলো শক্তি ব্যবহারের হার। IR কিউরিং-এ “উত্তপ্ত হওয়ার” প্রক্রিয়াটি একেবারেই অপ্রয়োজনীয়। সুইচটি চালু করলেই ল্যাম্পগুলো জ্বলে ওঠে; ফলে তৎক্ষণাৎ পূর্ণ শক্তি পাওয়া যায়। আর ৫০০ কেজি ওজনের ইস্পাতটিকে দুই ঘণ্টা ধরে উত্তপ্ত করার দরকার নেই।
এটা হলো কাজটি সম্পন্ন করার জন্য আরও কার্যকর ও সরাসরি উপায়।